PUMA WY 3600 A
Booster de vacío
Los optimizadores de rendimiento herméticos para aplicaciones de vacío medio y alto
Fiables
Diseño especial de los lóbulos para evitar depósitos de polvo y partículas, construcción robusta hecha de material GGG40, hermético
Alto rendimiento
Diseño especial para aplicaciones exigentes en el rango de vacío medio y alto, incluyendo procesos de semiconductores con polvo, excelente eficiencia volumétrica
Versátiles
Rendimiento fiable en condiciones de funcionamiento variables, mejora el rendimiento de todos los tipos de bombas primarias
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Producción de pantallas planas
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Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
Producción de semiconductores
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Duro
Industria de la energía solar
-
Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)