COBRA DS 3010/3161 C/G
Bombas de vacío de tornillo en seco
La nueva generación de bombas de vacío secas para procesos exigentes
Alto rendimiento
Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para la deposición química de vapor, los tratamientos térmicos rápidos o la deposición de capas atómicas
Eficientes
Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad. eficaz refrigeración por agua indirecta, gran capacidad de hidrógeno
Compactas
Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados sobre una bancada compacta
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Manipulación de biogás
-
Refinado: adsorción por cambio de presión
Producción de pantallas planas
-
Diodo orgánico de emisión de luz (OLED)
-
Cámaras Load Lock
-
Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
-
Deposición física de vapor (PVD)
Producción de baterías de iones de litio
-
Desgasificación
Producción de semiconductores
-
Medio
-
Duro
-
Sencillo
Industria de la energía solar
-
Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
-
Cámaras Load Lock
Accesorios
- Disponible versión de procesamiento de polvo opcional (solo para DS 3010 G y DS 3161 C)
- Recubrimiento tantal opcional