Los visitantes pueden esperar una impresionante exposición de la tecnología de vacío y soluciones de reducción diseñadas para dar soporte a las plantas de fabricación de semiconductores y sub fabs. El lema de la feria Semicon West de este año es «Stronger Together, Forward as One», en perfecta consonancia con el mensaje del Busch Group en el stand, «Ultimate Product Range» y «Total Fab Solutions». Turgay Ozan, Presidente de las empresas del Busch Group en EE.UU. comenta: «Gozamos de una posición privilegiada para ser el principal socio de soluciones completas para la industria de semiconductores. Nuestra amplia gama de productos es reconocida tanto en salas blancas como en sub fabs y cubre la reducción de gases, bombas de vacío y turbomoleculares, gestión de la contaminación, detección de fugas, válvulas, gestión de sub fabs y servicio para todas las marcas».
Presentación de la gama definitiva de productos de tecnología de vacío, soluciones de reducción
Detector de fugas móvil ASM 392: gracias a su bomba turbomolecular integrada, el ASM 392 de Pfeiffer Vacuum es conforme a SEMI S2 y optimizado para evacuaciones rápidas y tiempos de respuesta cortos en objetos de ensayo de gran tamaño. Su bomba de respaldo de funcionamiento en seco y sin contacto y una potente bomba de alto vacío lo convierten en la solución ideal para pruebas en entornos de salas limpias.
Válvulas eléctricas serie E: presentada en la feria por primera vez, la serie E de Pfeiffer Vacuum es una innovadora línea de válvulas eléctricas de ángulo diseñadas para su fácil integración en aplicaciones de alto vacío. Combinando un accionamiento eléctrico avanzado con la eficiencia energética, la serie E ofrece un control superior, fiabilidad y ahorro de costes.
Turbobomba ATH 2804 M: con un tamaño compacto, las bombas turbomoleculares de levitación magnética ATH 2804 M de Pfeiffer Vacuum proporcionan un elevado rendimiento de gas y son ideales para los procesos de fabricación de semiconductores.
Turbobomba HiPace 3400 IT: la HiPace 3400 IT, diseñada exclusivamente para aplicaciones exigentes de implantación de iones, marca la pauta como la turbobomba más compacta de su clase, sin comprometer el rendimiento. El tamaño de brida DN 320 aumenta la capacidad de bombeo de gases de proceso hasta un impresionante 30 %. Su exclusivo concepto de rodamiento y el diseño del rotor con revestimiento especial protegen tanto su proceso como la bomba, proporcionando una durabilidad y fiabilidad sin igual.
Bombas de funcionamiento en seco Torri BD 0100 / 0600: Torri BD de Busch ofrece tiempos cortos de evacuación para cámaras de bloqueo de carga y figura entre las bombas de vacío de lóbulos rotativos multietapa de funcionamiento en seco más pequeñas, ligeras y energéticamente eficientes del mercado.
Reducción térmica CT-TW-H: el sistema de reducción térmica de alta temperatura de nueva generación de centrotherm clean solutions combina la amplia cobertura de procesos de la reducción mediante llama con las características sin combustible de la reducción mediante plasma, sin ninguno de los inconvenientes. Capaz de destruir NF3 molecular a niveles líderes en su clase con emisiones de NOX extremadamente bajas, el equipo CT-TW-H representa por fin una solución sostenible con una huella de carbono mínima para la familia de procesos de CVD y grabado de metales.
Los visitantes de la feria podrán charlar con los expertos de Pfeiffer Vacuum, Busch Vacuum Solutions y centrotherm clean solutions en Semicon West del 9 al 11 de julio de 2024 en el stand 733 del hall sur del Moscone Center de San Francisco.
Pie de foto: Turbobombas de levitación magnética de Pfeiffer Vacuum. Fuente: Pfieiffer Vacuum.