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COBRA BC 1000 / 2000 F

COBRA BC 1000 F e BC 2000 F sono due pompe per vuoto a vite a secco dell'affermata serie COBRA BC. La loro alta capacità di aspirazione e l'alta portata di idrogeno ne fanno dei prodotti ideali per qualsiasi processo impegnativo nella produzione di celle fotovoltaiche, di pannelli per schermi piatti e di semiconduttori. La tecnologia delle pompe per vuoto COBRA è senza olio e senza contatto, consentendo l'evacuazione di polvere e del prodotto senza alcuna contaminazione.

I modelli COBRA BC 1000 F e BC 2000 F sono provvisti di serie di una pompa acceleratrice integrata che assicura una capacità di aspirazione e pressioni finali superiori. La pompa di pre-vuoto e la pompa acceleratrice sono combinate su un telaio di base compatto.

COBRA BC 1000 F e BC 2000 F sono provviste di motori altamente efficienti con una modalità stand-by che offre un grande potenziale di risparmi energetici.

La loro realizzazione compatta richiede uno spazio alquanto ridotto e il loro bassissimo fabbisogno energetico contribuisce a contenere al minimo i costi di esercizio. La lunga durata delle pompe per vuoto COBRA BC riduce ulteriormente i costi complessivi. Il retrofit di queste pompe per vuoto a vite nei sistemi esistenti è semplice e rapido.

Applicazioni

  • High-density plasma CVD (HDP CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD)
  • Metal-organic CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD)
  • Low-pressure CVD (LPCVD)
  • Atomic layer deposition (ALD)
  • Load-lock applications

COBRA: l'ultima generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti.

COBRA: l'ultima generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti.

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Dati tecnici

Specifiche tecniche
COBRA BC 1000 F e BC 2000 F sono pompe per vuoto monostadio a doppia vite. I due rotori a vite ruotano all'interno del cilindro, intrappolando e comprimendo il mezzo aspirato, che viene poi trasportato verso la mandata della pompa. Durante il processo di compressione, non si ha alcun contatto tra i rotori a vite né fra essi e il cilindro per cui non sono richiesti lubrificanti e fluidi operativi nella camera di compressione.

Lo sviluppo più recente del design della vite riduce drasticamente il consumo energetico e impedisce alte temperature del gas durante la compressione. La moderna tecnologia a vite facilita inoltre una capacità di aspirazione estremamente alta per l’evacuazione dell'idrogeno. Una pompa per alto vuoto è usata come acceleratore in combinazione con la pompa per vuoto a vite, per formare un'unità compatta.

L'efficiente raffreddamento indiretto ad acqua garantisce una distribuzione uniforme della temperatura nella pompa e la stabilità termica della COBRA BC durante l'intero processo.

Disegno COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Capacità di aspirazione

Aria a 20 °C. Tolleranza: ±10%

50 Hz 60 Hz
Capacità di aspirazione
Dati tecnici COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Capacità di aspirazione nominale 930 m³/h 1580 m³/h
Potenza nominale del motore pompa a vuoto iniziale 1,5 kW 2,9 kW
Potenza nominale del motore booster per vuoto 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Pressione assoluta nominale 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Livello di rumorosità (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consumo di acqua 3,0 l/min 3,0 l/min
Consumo di azoto 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso approssimativo 310 kg 360 kg
Dimensioni (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Ingresso / uscita gas DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Tutti i dati sulle prestazioni si basano su condizioni ambientali di 14,7 PSIA e 70 °F e hanno una tolleranza di ± 10%.    

Dati tecnici

Specifiche tecniche
COBRA BC 1000 F e BC 2000 F sono pompe per vuoto monostadio a doppia vite. I due rotori a vite ruotano all'interno del cilindro, intrappolando e comprimendo il mezzo aspirato, che viene poi trasportato verso la mandata della pompa. Durante il processo di compressione, non si ha alcun contatto tra i rotori a vite né fra essi e il cilindro per cui non sono richiesti lubrificanti e fluidi operativi nella camera di compressione.

Lo sviluppo più recente del design della vite riduce drasticamente il consumo energetico e impedisce alte temperature del gas durante la compressione. La moderna tecnologia a vite facilita inoltre una capacità di aspirazione estremamente alta per l’evacuazione dell'idrogeno. Una pompa per alto vuoto è usata come acceleratore in combinazione con la pompa per vuoto a vite, per formare un'unità compatta.

L'efficiente raffreddamento indiretto ad acqua garantisce una distribuzione uniforme della temperatura nella pompa e la stabilità termica della COBRA BC durante l'intero processo.

Disegno
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Capacità di aspirazione

Aria a 20 °C. Tolleranza: ±10%

50 Hz
60 Hz
Capacità di aspirazione
Dati tecnici COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Capacità di aspirazione nominale 930 m³/h 1580 m³/h
Potenza nominale del motore pompa a vuoto iniziale 1,5 kW 2,9 kW
Potenza nominale del motore booster per vuoto 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Pressione assoluta nominale 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Livello di rumorosità (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consumo di acqua 3,0 l/min 3,0 l/min
Consumo di azoto 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso approssimativo 310 kg 360 kg
Dimensioni (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Ingresso / uscita gas DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Tutti i dati sulle prestazioni si basano su condizioni ambientali di 14,7 PSIA e 70 °F e hanno una tolleranza di ± 10%.    

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COBRA BC 1000 / 2000 F

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