Tecnologia consolidata, progetti collaudati:
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COBRA BA 0100 C

COBRA BC 0100 C è la collaudata pompa per vuoto a vite a secco per l'evacuazione delle camere “load lock” e per altri processi esigenti della produzione di celle fotovoltaiche, pannelli per schermi piatti e semiconduttori. Grazie all'efficiente raffreddamento ad aria ed ad una capacità di aspirazione che è la più alta nella sua classe di prestazioni, questa pompa per vuoto è ideale per applicazioni che richiedono una generazione del vuoto efficiente, rapida ed affidabile. La tecnologia delle pompe per vuoto COBRA è senza olio e senza contatto, consentendo l'evacuazione del prodotto senza alcuna contaminazione.

COBRA BA 0100 C è provvista di un motore altamente efficiente con una modalità stand-by che offre un grande potenziale di risparmi energetici.

La realizzazione compatta di COBRA BA 0100 C richiede uno spazio alquanto ridotto e il suo bassissimo fabbisogno energetico contribuisce a contenere al minimo i costi di esercizio.

Applicazioni

  • High-density plasma CVD (HDP CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD)
  • Metal-organic CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD)
  • Low-pressure CVD (LPCVD)
  • Atomic layer deposition (ALD)
  • • Load-lock applications

COBRA: l'ultima generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti.

COBRA: l'ultima generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti.

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Dati tecnici

Specifiche tecniche
COBRA BA 0100 C è una pompa per vuoto monostadio a doppia vite. I due rotori a vite ruotano all'interno del cilindro, intrappolando e comprimendo il mezzo aspirato, che viene poi trasportato verso la mandata della pompa. Durante il processo di compressione, non si ha alcun contatto tra i rotori a vite né fra essi e il cilindro per cui non sono richiesti lubrificanti e fluidi operativi nella camera di compressione. Lo sviluppo più recente del design della vite presenta un supporto a sbalzo, il che riduce drasticamente il consumo energetico e impedisce alte temperature del gas durante la compressione.

COBRA BA 0100 C incorpora di serie un raffreddamento ad aria efficiente.

Disegno COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Capacità di aspirazione

Aria a 20 °C. Tolleranza: ±10%

50 Hz 60 Hz
Capacità di aspirazione
Dati tecnici COBRA BA 0100 C
Capacità di aspirazione nominale 85 m³/h
Pressione assoluta nominale 0,01 hPa (mbar)
Potenza nominale del motore 1,5 kW
Velocità nominale del motore 3000 min-1
Consumo energetico a pressione assoluta finale 1,1 kW
Livello di rumorosità (ISO 2151) 58 dB(A)
Consumo di azoto 0-50 l/min
Peso approssimativo 120 kg
Dimensioni (L x W x H) 634 x 304 x 338 mm
Ingresso / uscita gas DN 50 KF / DN 40 KF

Dati tecnici

Specifiche tecniche
COBRA BA 0100 C è una pompa per vuoto monostadio a doppia vite. I due rotori a vite ruotano all'interno del cilindro, intrappolando e comprimendo il mezzo aspirato, che viene poi trasportato verso la mandata della pompa. Durante il processo di compressione, non si ha alcun contatto tra i rotori a vite né fra essi e il cilindro per cui non sono richiesti lubrificanti e fluidi operativi nella camera di compressione. Lo sviluppo più recente del design della vite presenta un supporto a sbalzo, il che riduce drasticamente il consumo energetico e impedisce alte temperature del gas durante la compressione.

COBRA BA 0100 C incorpora di serie un raffreddamento ad aria efficiente.

Disegno
COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Capacità di aspirazione

Aria a 20 °C. Tolleranza: ±10%

50 Hz
60 Hz
Capacità di aspirazione
Dati tecnici COBRA BA 0100 C
Capacità di aspirazione nominale 85 m³/h
Pressione assoluta nominale 0,01 hPa (mbar)
Potenza nominale del motore 1,5 kW
Velocità nominale del motore 3000 min-1
Consumo energetico a pressione assoluta finale 1,1 kW
Livello di rumorosità (ISO 2151) 58 dB(A)
Consumo di azoto 0-50 l/min
Peso approssimativo 120 kg
Dimensioni (L x W x H) 634 x 304 x 338 mm
Ingresso / uscita gas DN 50 KF / DN 40 KF

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