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COBRA DS 5161–9161 A/B/F

Vite

La nuova generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti

Prestazioni elevate

Design della vite avanzato, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, particolarmente indicate per la deposizione chimica in fase di vapore, la lavorazione termica rapida o la deposizione di strati atomici

Efficienza

Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, efficiente raffreddamento ad acqua indiretto, elevata resa di idrogeno

Compattezza

Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente

Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Produzione di schermi piatti
  • Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)
  • Diodo organico a emissione di luce (OLED)
  • Camere di carico
  • Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
Metallurgia
  • Rivestimento
Produzione di semiconduttori
  • Gravose
Settore dell'energia solare
  • Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)