13 anni in funzionamento - COBRA BC raggiunge il traguardo alla Fab 1 di GlobalFoundries

Tredici anni di funzionamento continuo. Ovvero oltre 21.1 miliardi di rotazioni a 50 Hz. A metà gennaio 2018, una pompa per vuoto a vite a secco COBRA BC ha superato questo notevole traguardo in una fonderia di semiconduttori in Germania, confermando la fama di prodotto solido, affidabile e a manutenzione ridotta.

La pompa per vuoto in questione è in funzionamento continuo dal 2005 ed è la COBRA BC in funzionamento da più tempo presso il sito di produzione GlobalFoundries a Dresda, in Germania, conosciuto come Fab 1. Fab 1 a Dresda è stata la prima fabbrica del mondo a produrre in quantità industriali i microchip con cablaggio in rame, una tecnologia che oggi è alla base della produzione di semiconduttori in tutto il mondo.

Il sito di Dresda in totale conta 194 pompe per vuoto a vite a secco COBRA BC 0100 installate, che producono 300 mm di wafer per l'industria dei semiconduttori. 47 di queste COBRA BC sono in funzionamento continuo da oltre 10 anni e 22 di queste pompe per vuoto hanno superato il traguardo di 100.000 ore di funzionamento (in 11 anni).

Le pompe per vuoto COBRA BC vengono prevalentemente utilizzate nelle applicazioni load lock di epitassia e nei processi di deposizione fisica da vapore (PVD), oltre che in processi privi di contaminanti per la movimentazione wafer e altri parametri che garantiscono la qualità del processo di litografia.

COBRA BC 0100 F è una pompa per vuoto a vite a secco nel consolidato portafoglio della serie COBRA BC che rappresenta una soluzione per load lock compatta e all'avanguardia con capacità di processo aggiuntive per applicazioni estremamente esigenti per l'energia solare, schermi piatti  e semiconduttori. È dotata di eccellenti capacità di gestione delle polveri, assicurate dall'esclusivo design della vite.

La serie COBRA BC è inoltre disponibile in una classe Premium Efficiency COBRA BC con impatto energetico ridotto che comporta un consumo elettrico inferiore fino al 40%. La classe Premium Efficiency è basata sulla consolidata piattaforma tecnologica di COBRA BC.

Busch Vacuum Pumps and Systems dispone di un team di assistenza a Dresda, composto da nove tecnici e un caposquadra, in un sistema a turno 24 ore su 24, 7 giorni su 7 che garantisce un sistema di elevata disponibilità  di centinaia di pompe per vuoto Busch installate. Inoltre, il team di assistenza si occupa dei sistemi di abbattimento del gas di scarico.

GlobalFoundries è tra le migliori aziende di semiconduttori del mondo e produce, presso la fabbrica di Dresda, nodi da 40 nm a (nel prossimo futuro) 22 nm. La fabbrica di Dresda è la più grande fabbrica in Europa per la produzione di microchip.


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