Rivestimento al plasma

Lo stato di plasma di una miscela di particelle viene spesso descritto come il quarto stato della materia. A pressione normale, il plasma viene generato soltanto se si riscalda il gas ad una temperatura abbastanza alta da trasformarne le molecole in ioni ed elettroni. Tuttavia, a pressioni molto basse, è possibile creare il plasma senza dover raggiungere temperature elevate.

La tecnologia del rivestimento utilizza il plasma per depositare strati sottili di materiale attivo, ad esempio per produrre uno specchio o per applicare un rivestimento non adesivo su determinati componenti.

Alcuni materiali relativamente delicati, quali la plastica, la gomma e le fibre naturali, non sono idonei per processi ad alta temperatura. Per applicare dei rivestimenti a tali tipologie di materiali viene utilizzato un plasma a bassa pressione, che opera a temperature comprese tra 40°C e 120°C. I componenti vengono ripuliti in profondità e posizionati in una camera, successivamente evacuata. Il sistema per vuoto, che fornisce i livelli medio-alti richiesti, deve essere totalmente affidabile e le sue caratteristiche devono rispondere appieno ai requisiti del processo di rivestimento.


Nella camera viene quindi aggiunto un gas di processo, ad esempio l'Argon. Viene applicata al gas energia ad alta frequenza, microonde o elettrica che accende una fiamma al plasma. Questa divide il materiale di rivestimento in particelle minuscole che vengono quindi accelerate. Le particelle impattano sui componenti nella camera con un'elevata energia, formando uno strato uniforme. I sottoprodotti volatili del plasma vengono rimossi dalla pompa per vuoto e, se necessario, possono essere neutralizzati da uno scrubber di scarico.


Per generare i livelli di vapore medio-alti richiesti per il rivestimento al plasma è possibile utilizzare diversi prodotti Busch. Alcune varianti della gamma di pompe per vuoto a vite COBRA si sono rivelate particolarmente idonee in tal senso, anche associate alle pompe per vuoto Roots Panda. Per gli impianti di rivestimento al plasma più piccoli, con sistemi load lock, è possibile utilizzare anche pompe per vuoto scroll Fossa, associate a pompe per vuoto rotative a palette Zebra e a pompe per vuoto turbomolecolari per la camera operativa.

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