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Suisse

COBRA Semicon

Pompes à vide sèches à vis

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Les pompes à vide sèches à vis COBRA Semicon sont le choix idéal pour tous les processus exigeants dans la production de cellules photovoltaïques, d'écrans plats, de semi-conducteurs, ainsi que dans plusieurs applications de revêtement industriel.

Le principe de fonctionnement des pompes COBRA Semicon est basé sur notre technologie de vis avancée. Avec leurs vis auto-équilibrées brevetées, elles établissent de nouvelles normes en matière d'efficacité.

COBRA Semicon combine des débits élevés avec une grande tolérance à la vapeur et aux particules. Les mélanges chargés de particules peuvent donc être évacués sans aucun problème.

Le principe de fonctionnement sans huile et sans contact est synonyme de faibles exigences de maintenance, de coûts d'exploitation réduits et de longue durée de vie.

Les dimensions compactes des pompes COBRA Semicon simplifient leur installation - même dans les espaces confinés.

Principe de fonctionnement

À l'intérieur des pompes à vide sèches à vis COBRA Semicon, deux rotors à vis tournent en sens opposé. Le mélange pompé est aspiré entre le cylindre et les chambres des vis. Puis il est compressé et transporté vers l'échappement. Pendant ce processus, les rotors à vis n'entrent pas en contact l'un avec l'autre, ni avec le cylindre.

Découvrez notre série COBRA Semicon

  • cobra_ba_0100_c

    COBRA BA

    La solution plug & pump (branchez & pompez) refroidie par air

    En savoir plus
  • cobra_bc_1000_f_1

    COBRA BC

    La solution idéale pour les applications de semi-conducteurs légers à moyens

    En savoir plus
  • cobra_ds_1200_a

    COBRA DS

    La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les processus exigeants

    En savoir plus

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
La solution plug & pump (branchez & pompez) refroidie par air

  • Concept de vis sophistiqué
  • Principe de fonctionnement sec et sans contact
  • Conception à « roulement flottant » unique
  • Structure en porte-à-faux
  • Conception compacte
  • Refroidissement par air efficace
  • Convertisseur de fréquence en option
Avantages de la série COBRA BA
Les pompes COBRA BA sont des pompes à vide sèches à vis reconnues. Elles sont parfaitement adaptées à des processus exigeants tels que la stérilisation, la métallurgie, la récupération de gaz ou les applications de four.

La conception de vis auto-équilibrante brevetée assure les niveaux de vibration les plus bas et un fonctionnement silencieux.

Les pompes à vide COBRA BA présentent une conception en porte-à-faux basée sur une structure en forme de cloche : le double rotor doté de vis à pas variable est monté uniquement côté moteur. Grâce à la conception unique à « roulement flottant », les roulements d'entrée sont inutiles. Par conséquent, le mélange pompé n'entre pas en contact avec les roulements. Cela garantit une génération de vide propre et permet de récupérer intégralement le mélange pompé.

Les pompes à vide COBRA BA sont caractérisées par un refroidissement par air efficace.

Grâce à son moteur immergé à accouplement direct, la gamme de pompes COBRA BA affiche des dimensions extrêmement compactes.

Tous les produits COBRA BA
  • COBRA BA 0100 C

    COBRA BA 0100 C

    Pression finale :
    0,01 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    85 m³/h

    En savoir plus

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
La solution idéale pour les applications de semi-conducteurs légers à moyens

  • Concept de vis sophistiqué
  • Principe de fonctionnement sec et sans contact
  • Conception à « roulement flottant » unique
  • Structure en porte-à-faux
  • Conception compacte et optimisée
  • Refroidissement direct par eau
  • Protocole de communication entièrement ouvert
Vidéo : Comment fonctionnent les pompes à vide COBRA BC
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Avantages de la série COBRA BC
Les pompes à vide COBRA BC conviennent parfaitement pour les tâches dans les sas de chargement et chambres de transfert. D'autres applications incluent, entre autres, la métrologie, la lithographie, le dépôt physique en phase vapeur, le recuit thermique rapide et la gravure du silicium.

La conception de vis auto-équilibrante brevetée assure les niveaux de vibration les plus bas et un fonctionnement silencieux.

Les vis des pompes à vide COBRA BC sont fabriquées à partir d'une seule pièce de fonderie, ce qui évite tout interstice. Toute pénétration de fluides ou de particules liés au procédé est donc rendue impossible. La corrosion et les dépôts sont donc évités.

Les pompes à vide COBRA BC présentent une conception en porte-à-faux basée sur une structure en forme de cloche : le double rotor doté de vis à pas variable est monté uniquement côté moteur. Grâce à la conception unique à « roulement flottant », les roulements d'entrée sont inutiles. Par conséquent, le mélange pompé n'entre pas en contact avec les roulements. Cela garantit une génération de vide propre et permet de récupérer intégralement le mélange pompé.

Les pompes à vide de la série COBRA BC utilisent un refroidissement par eau direct efficace. Une distribution homogène de la température est ainsi maintenue dans l'ensemble du corps de pompe. La stabilité thermique est, de plus, garantie durant le processus.

Le protocole de communication entièrement ouvert (Modbus TCP-IP) permet de contrôler toutes les fonctionnalités. Les modes veille et le variateur de vitesse sont notamment pris en charge. Le protocole de communication peut s'adapter facilement à un protocole réseau spécifique à l'aide de composants d'interface standard.

Grâce à son moteur immergé à accouplement direct, la gamme de pompes COBRA BC affiche des dimensions extrêmement compactes. Grâce à leur conception « fit-in-place », elles peuvent être aisément et rapidement montées ultérieurement sur les systèmes existants.

Tous les produits COBRA BC
  • COBRA BC 0100/0200 F

    COBRA BC 0100/0200 F

    Pression finale :
    0,01 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

    En savoir plus
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Pression finale :
    0,005 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

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  • COBRA BC 0101 G

    COBRA BC 0101 G

    Pression finale :
    0,01 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    100 m³/h

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  • COBRA BC 0600 F

    COBRA BC 0600 F

    Pression finale :
    0,003 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    520 m³/h

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  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Pression finale :
    0,001 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    530 m³/h

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  • COBRA BC 0601–1200 A/G

    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Pression finale :
    0,003 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    En savoir plus
  • COBRA BC 1000/2000 F

    COBRA BC 1000/2000 F

    Pression finale :
    0,003 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

    En savoir plus
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Pression finale :
    0,001 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    955 m³/h

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COBRA DS

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La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les processus exigeants

  • Concept de vis sophistiqué
  • Principe de fonctionnement sec et sans contact
  • Excellente manutention des poudres
  • Système efficace de refroidissement indirect par eau
  • Conception compacte et optimisée
  • Vitesse de pompage élevée pour le déchargement de l'hydrogène
  • Moteur à haute efficacité
  • Différentes tailles de pompes avec booster intégré
Avantages de la série COBRA DS
Les pompes à vide sèches à vis COBRA DS sont les générateurs de vide idéaux pour les procédés exigeants. Même dans les conditions nécessitant un débit d'hydrogène élevé. Elles conviennent donc parfaitement pour le dépôt chimique en phase vapeur, le recuit thermique rapide ou le dépôt par couche atomique.

Les différentes dimensions de la série COBRA DS présentent une pompe booster haute performance intégrée. Cette combinaison de pompe primaire et de pompe booster permet d'atteindre des vitesses de pompage et des pressions finales accrues.

La conception de vis auto-équilibrante brevetée assure une excellente manutention des poudres et un temps de fonctionnement élevé.

Les vis des pompes à vide COBRA DS sont fabriquées à partir d'une seule pièce de fonderie, ce qui évite tout interstice. Toute pénétration de fluides ou de particules liés au procédé est donc rendue impossible. La corrosion et les dépôts sont donc évités.

Les pompes à vide de la série COBRA DS utilisent un refroidissement par eau indirect efficace. Ce dernier permet de contrôler la distribution de la température dans l'ensemble du corps de pompe. Il est donc possible de réagir à tout moment aux variations du processus.

Grâce à leur conception « fit-in-place », les pompes COBRA DS peuvent être aisément et rapidement montées ultérieurement sur les systèmes existants.

Tous les produits COBRA DS
  • COBRA DS 0080/0160 G

    COBRA DS 0080/0160 G

    Pression finale :
    0,03 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    En savoir plus
  • COBRA DS 0600 E

    COBRA DS 0600 E

    Pression finale :
    0,01 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    600 m³/h

    En savoir plus
  • COBRA DS 0700–2000 G

    COBRA DS 0700–2000 G

    Pression finale :
    0,003 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

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  • COBRA DS 1200/1800 A

    COBRA DS 1200/1800 A

    Pression finale :
    0,003 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 1200 m³/h max. 1700 m³/h

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  • COBRA DS 2610–3161 A/E

    COBRA DS 2610–3161 A/E

    Pression finale :
    0,001 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 1830 m³/h max. 3200 m³/h

    En savoir plus
  • COBRA DS 3181 A

    COBRA DS 3181 A

    Pression finale :
    0,001 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    3500 m³/h

    En savoir plus
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Pression finale :
    0,001 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

    En savoir plus
  • COBRA DS 8162/8163 B/F

    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Pression finale :
    0,001 hPa (mbar)
    Vitesse de pompage nominale :
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

    En savoir plus