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COBRA BC 1200 A

Pompes à vide sèches à vis

High performance
Advanced screw design, bell-shaped construction, patented self-balancing screws, excellent running qualities, integrated vacuum booster, perfectly suited for cold atomic layer deposition processes, load lock and transfer chambers, metrology, lithography, physical vapor deposition, rapid thermal annealing and etching processes like oxide, silicon and metal
Efficient
Low cost of ownership, minimal maintenance, long service intervals, high uptime, direct water cooling
Compact
Fit-in-place design, directly mounted canned motor, backing pump and vacuum booster combined on a compact base frame

Données techniques

Schéma COBRA BC 1200 A
COBRA BC 1200 A
Pumping speed 50 Hz 60 Hz
Pumping speed
Spécifications techniques COBRA BC 1200 A
Vitesse de pompage 1200 m³/h
Pression finale 0,003 hPa (mbar)
Puissance nominale du moteur de la pompe primaire 1,5 kW
Puissance nominale du moteur de la pompe booster 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1
Consommation électrique à la pression finale 1,9 / 1,3 kW
Niveau sonore (ISO 2151) 62 dB(A)
Consommation d'eau min, 4,0–5,0 l/min
Consommation d'azote 0–70 l/min
Poids approx. 360 kg
Dimensions (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm
Aspiration/échappement de gaz DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
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COBRA BC 1200 A

Pompes à vide sèches à vis

High performance
Advanced screw design, bell-shaped construction, patented self-balancing screws, excellent running qualities, integrated vacuum booster, perfectly suited for cold atomic layer deposition processes, load lock and transfer chambers, metrology, lithography, physical vapor deposition, rapid thermal annealing and etching processes like oxide, silicon and metal
Efficient
Low cost of ownership, minimal maintenance, long service intervals, high uptime, direct water cooling
Compact
Fit-in-place design, directly mounted canned motor, backing pump and vacuum booster combined on a compact base frame

Données techniques

Schéma
COBRA BC 1200 A
COBRA BC 1200 A
Pumping speed
50 Hz
60 Hz
Pumping speed
Spécifications techniques COBRA BC 1200 A
Vitesse de pompage 1200 m³/h
Pression finale 0,003 hPa (mbar)
Puissance nominale du moteur de la pompe primaire 1,5 kW
Puissance nominale du moteur de la pompe booster 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1
Consommation électrique à la pression finale 1,9 / 1,3 kW
Niveau sonore (ISO 2151) 62 dB(A)
Consommation d'eau min, 4,0–5,0 l/min
Consommation d'azote 0–70 l/min
Poids approx. 360 kg
Dimensions (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm
Aspiration/échappement de gaz DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF

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