13 ans de fonctionnement - la COBRA BC franchit le cap sur le site Fab 1 de GLOBALFOUNDRIES

Treize années de fonctionnement continu. Ça représente plus de 21,1 milliards de rotations à 50 Hz. À la mi-janvier 2017, une pompe à vis sèche COBRA BC a franchi ce cap remarquable dans une fonderie de semi-conducteurs allemande, confirmant ainsi sa réputation de robustesse, fiabilité et faible maintenance.

Depuis 2005, la pompe en question fonctionne en continu sur le site de production de GLOBALFOUNDRIES de Dresde, en Allemagne, et est la plus ancienne COBRA BC du site, connu sous le nom de Fab 1. À Dresde, Fab 1 a été la première usine de fabrication au monde à produire des micropuces à câblage en cuivre à l'échelle industrielle – une technologie aujourd'hui à la base de la production de semi-conducteurs dans le monde entier.

Au total, 194 pompes à vis sèches COBRA BC 0100 sont installées sur le site de Dresde, qui produit des wafers de 300 mm pour le secteur des semi-conducteurs. Quarante-sept de ces pompes fonctionnent en continu depuis plus de 10 ans et 122 ont franchi la barre des 100 000 heures de fonctionnement (plus de 11 années de fonctionnement).

Les pompes à vide COBRA BC sont très largement utilisées dans les applications de sas de chargement des procédés d'épitaxie et de dépôt physique en phase vapeur (PVD), ainsi que dans d'autres procédés, sans risque de contamination de manipulation et mesure des wafers, afin de garantir la qualité du procédé de lithographie.

La pompe COBRA BC 0100 F est une pompe à vis sèche de la gamme COBRA BC éprouvée proposant des solutions de sas de chargement de pointe compactes aux capacités de traitement supplémentaires pour les applications solaires, d'écrans plats et de semi-conducteurs les plus exigeantes. Elle dispose d'excellentes capacités de manipulation, de par sa conception à vis unique.

La gamme COBRA BC est également proposée en classe Premium Efficiency, avec une empreinte énergétique limitée, permettant de réaliser jusqu'à 40 % d'économies d'énergie. La classe Premium Efficiency repose sur la plate-forme technologique éprouvée de la COBRA BC.

Busch Pompes à vide et Systèmes dispose d'une équipe de service à Dresde, composée de neuf techniciens de service et d'un chef d'équipe, joignable 24 h/24 et 7 j/7, pour garantir une très forte disponibilité du système avec près de 100 pompes à vide Busch installées. L'équipe de service gère par ailleurs les systèmes de réduction des émissions de gaz usagés.

GLOBALFOUNDRIES compte parmi les plus importants fabricants de semi-conducteurs au monde, et produit dans son usine  de Dresde des nœuds de 40 nm à (très bientôt) 22 nm. L'usine de Dresde est la plus importante d'Europe pour la production  de micropuces. 


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