COBRA DS 0700–2000 G
Trockene Schrauben-Vakuumpumpen
Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse
Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing oder Atomic Layer Deposition
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Handling von Biogas
-
Aufbereitung - Druckwechseladsorption
Flachbildschirmproduktion
-
Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
-
Load-Lock-Kammern
-
Organische Leuchtdiode (OLED)
-
Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
Produktion von Lithium-Ionen-Batterien
-
Entgasung
Halbleiterproduktion
-
Mittel
-
Hart
-
Leicht
Solarindustrie
-
Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)