Bitte aktualisieren Sie Ihren Browser.

Es sieht so aus, als ob Sie eine alte Version des Edge-Browsers von Microsoft verwenden. Um die Busch Webseite optimal nutzen zu können, aktualisieren Sie bitte Ihren Browser.

Kontakt
Schweiz
  • cobra_ds_0600_e

COBRA DS 0600 E

Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, optimal geeignet für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing oder Atomic Layer Deposition

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Handling von Biogas
  • Aufbereitung - Druckwechseladsorption
Flachbildschirmproduktion
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Load-Lock-Kammern
  • Organische Leuchtdiode (OLED)
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
Produktion von Lithium-Ionen-Batterien
  • Entgasung
Halbleiterproduktion
  • Mittel
  • Hart
  • Leicht
Solarindustrie
  • Blockguss
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)

Zubehör

  • Tantalbeschichtung für raue Einsatzbedingungen