COBRA DS 8162/8163 B/F
Trockene Schrauben-Vakuumpumpen
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Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse
Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Hochleistungs-Load-Lock-Anwendungen und Beschichtungsprozesse
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente Wasserkühlung, hoher Lösungsmitteldurchsatz
Kompakt
Kompakte Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen, modulare Bauweise
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Flachbildschirmproduktion
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Load-Lock-Kammern