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COBRA DS 2141 A

Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, hervorragende Partikelverträglichkeit, optimal geeignet für Halbleiteranwendungen, die Flachbildschirmproduktion und Solarenergieanwendungen

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz, variable Temperaturüberwachung, geringes Vibrationsniveau

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, integriertes Bedienpanel, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Flachbildschirmproduktion
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Load-Lock-Kammern
  • Organische Leuchtdiode (OLED)
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
Halbleiterproduktion
  • Mittel
  • Hart
  • Leicht
Solarindustrie
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
  • Laminierung
  • Blockguss
  • Load-Lock-Kammern
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)