SEMICON Europa 2023 vom 14. bis 17. November in München

Bei der Herstellung von Halbleitern spielt Vakuumtechnologie eine entscheidende Rolle. COBRA Semicon, die trockenen Schrauben-Vakuumpumpen von Busch sind ideal für anspruchsvolle Prozesse bei der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion sowie für verschiedene industrielle Beschichtungsanwendungen. Sie arbeiten besonders effizient dank ihrer patentierten selbstausbalancierenden Schrauben.

Für die Evakuierung von Load-Lock-Kammern bietet Busch die kompakte und energieeffiziente Vakuumlösung TORRI. Diese mehrstufigen Drehkolben-Vakuumpumpen zeichnen sich durch niedrigen Enddruck und hervorragende Kammer-Evakuierungszeiten aus, was die Gesamtzykluszeiten reduziert.

Auf der SEMICON Europa präsentiert sich Busch als zuverlässiger Partner für das Sub-Fab-Management, mit Vakuumpumpen, Abluftreinigungsanlagen, sowie entsprechendem Equipment.

Die Vakuumexperten von Busch bieten ferner einen 24h-Service im Bereich Fein- und Hochvakuum, einschließlich Fremdfabrikaten. Dieser Vor-Ort-Service ermöglicht es Kunden, sich vollkommen auf ihre Prozesse zu konzentrieren. Kritische Sub-Fab-Anlagen werden von Busch überwacht und vorausschauend gewartet, was Produktionsausfälle minimiert sowie Energie- und Kosteneinsparungen ermöglicht.