Plasmabeschichtung

Der Plasmazustand eines Teilchengemisches wird oft als der vierte Aggregatzustand bezeichnet. Bei Normaldruck entsteht ein Plasma, wenn ein Gas sehr hoch erhitzt wird, sodass seine Moleküle in Ionen und Elektronen zerfallen. Bei sehr niedrigen Drücken kann sich ein Plasma aber auch ohne hohe Temperaturen bilden.

In der Beschichtungstechnik werden Plasmen genutzt, um dünne Funktionsschichten etwa für Verspiegelung oder als Antihaftbeschichtung auf Werkstücke aufzubringen. Empfindliches Material wie Plastik, Gummi oder Naturfasern eignet sich jedoch nicht für eine Behandlung bei sehr hohen Temperaturen. Für die Beschichtung solcher Produkte wird ein Niederdruck-Plasma verwendet, das mit Temperaturen zwischen 40 und 120° C auskommt. Die gründlich gereinigten Werkstücke werden in eine Arbeitskammer eingebracht, die anschließend evakuiert wird. Das darin gebildete Fein- oder Hochvakuum muss absolut zuverlässig und genau auf den Beschichtungsprozess abgestimmt sein.


Anschließend wird durch ein Ventil ein Arbeitsgas – beispielsweise Argon – eingelassen. Dem Gas wird mit Hochfrequenz-, mit Mikrowellen oder elektrisch Energie zugeführt, sodass eine Plasmaflamme entsteht. Sie spaltet das Beschichtungsmaterial in kleinste Partikel auf und beschleunigt diese. So wird eine gleichmäßige Schicht mit hoher Energie auf das Werkstück aufgebracht. Flüchtige Nebenprodukte des Plasmas werden mit der Vakuumpumpen abgesaugt und können – falls nötig – mit einem Abgasreiniger neutralisiert werden.

Zur Erzeugung eines Fein- oder Hochvakuums für die Plasmabeschichtung können verschiedene Vakuumerzeuger von Busch eingesetzt werden, bewährt haben sich die verschiedenen Varianten von COBRA Schrauben-Vakuumpumpen, auch in Verbindung mit einem Panda Vakuum-Booster. Bei kleineren Anlagen kommen für Load-Lock-Anwendungen Fossa Spiral-Vakuumpumpen zum Einsatz und für die Prozesskammer Kombinationen von Zebra Drehschieber-Vakuumpumpen und Turbo Molekular-Vakuumpumpen.

Möchten Sie mehr erfahren?
Nehmen Sie direkt mit uns Kontakt auf (Busch Schweiz):
+41 (0)61 845 90 90 Kontaktformular

Passende Produkte

Standard News

Neueste Meldungen