La construction de la pompe à diffusion Rangu consiste en une chaudière d'huile connectée à un ensemble à jet central.
L'huile chauffée est éjectée de l'ensemble à jet à des vitesses supersoniques et les molécules de gaz du processus sont entraînées dans le flux du jet d'huile et transférées dans le corps de la pompe par le moment de propulsion des molécules d'huile plus lourdes. Ce processus déplace les molécules de gaz de la bride d'admission à faible pression au port à vide primaire de la pompe à diffusion, où l'huile est condensée et renvoyée à la chaudière, et les molécules de gaz du processus sont supprimées par la pompe auxiliaire.
La conception à jet de la pompe à diffusion Rangu confère à l'opération de pompage une stabilité optimale. La conception est particulièrement adaptée aux pressions transitoires élevées présentes lors d'un pompage dans une chambre sans les risques de reflux d'huile associés.
Toutes les pompes à diffusion Rangu bénéficient d'une conception d'unité de chauffage robuste à longue durée de vie, qui garantit des performances stables et fiables sous des conditions d'exploitation extrêmement variables.
10 Considerations for Optimum Use of Vacuum Technology