Revêtement par plasma

L'état plasma d'un ensemble de particules est souvent décrit comme le quatrième état de la matière. À une pression normale, un plasma n'est créé que si un gaz est chauffé à une température suffisamment élevée pour que les molécules dont il est constitué se transforment en ions et en électrons. Toutefois, à des pressions très basses, la formation d'un plasma est possible en l'absence de températures élevées.

Cette technologie de revêtement utilise le plasma pour déposer de fines couches de matériau actif, pour créer un miroir ou appliquer un revêtement antiadhésif sur des composants par exemple.

Les matériaux relativement délicats, comme le plastique, le caoutchouc et les fibres naturelles, ne se prêtent pas aux procédés à haute température. Pour appliquer des revêtements sur des matériaux de ce type, on utilise un plasma basse pression à des températures comprises entre 40 °C et 120 °C. Les pièces sont soigneusement nettoyées puis placées dans une chambre, qui est ensuite vidée. Le système de vide moyen et élevé requis doit être absolument fiable et ses caractéristiques doivent être parfaitement ajustées au procédé de revêtement.


On injecte ensuite un gaz de procédé dans la chambre (par exemple, de l'argon). L'application d'une énergie électrique, haute fréquence ou hyperfréquence, au gaz crée un jet de plasma. Celui-ci décompose le matériau de revêtement en infimes particules qui sont ensuite accélérées. Les particules à haute énergie entrent en collision avec les pièces enfermées dans la chambre et forment une couche homogène. Les résidus volatiles du plasma sont éliminés à l'aide de la pompe à vide et, si nécessaire, sont neutralisés par un épurateur de gaz d'échappement.


De nombreux produits Bush offrent les niveaux de vide moyen ou élevé exigés par le procédé de revêtement par plasma. Les pompes à vis à vide COBRA sont particulièrement adaptées, notamment lorsqu'elles sont utilisées en combinaison avec une pompe à vide Panda Roots. Pour les applications de revêtement par plasma plus petites avec systèmes de sas de chargement, nous vous suggérons les pompes à vide à spirale Fossa, combinées aux pompes à vide rotatives à palette Zebra et aux pompes à vide turbomoléculaires de la gamme Turbo pour la chambre de procédé.

Vous souhaitez en savoir plus ?
Contactez-nous directement ( Busch Canada ):
+1 800 363 63 60 Contactez-nous
Vous souhaitez en savoir plus ?
Contactez-nous directement ( Busch Canada ):
+1 800 363 63 60 Contactez-nous

Produits correspondants

Standard News

Dernières nouvelles