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COBRA BC 0600 F

  • Eficiente:
    Custo-benefício, longo tempo de operação, eficiência energética
  • Fácil manutenção:
    longos intervalos entre manutenções
  • Confiável:
    operacionalmente confiável
  • Flexível:
    Orientada para a aplicação
  • Silenciosa:
    nível de ruído inferior a < 62 dB(A)
     

A bomba COBRA BC 0600 F é uma bomba de vácuo de parafusos a seco de qualidade comprovada do portfólio COBRA BC. Oferece as melhores velocidades de bombeamento da sua classe para as aplicações em painéis solares, em painéis planos e em semicondutores mais exigentes.

A série COBRA BC oferece excelente resistência ao manuseio de pó residual que resulta do seu design único de parafuso. O design de qualidade comprovada combina a bomba auxiliar e a bomba de vácuo numa estrutura compacta.

As bombas a vácuo da série COBRA oferecem custos reduzidos. Os motores de alta eficiência e modo stand-by aumentam a eficiência energética. Economias adicionais são obtidas através de um prolongado tempo de atividade e uma reduzida força do impacto de entrada nos rolamentos, tornando a substituição das peças mais fácil em vários níveis.

Aplicações

  • Fecho de carga (condicional)
  • Transferência
  • Metrologia
  • Litografia
  • Deposição Física de Vapor (PVD)
  • Recozimento Térmico Rápido (RTA)
  • Decapagem/Incineração
  • Decapagem de óxido
  • Decapagem de silício
  • Decapagem de metal

COBRA – o próximo nível das bombas de vácuo compactas para trabalhos dos mais leves aos mais exigentes.

COBRA – o próximo nível das bombas de vácuo compactas para trabalhos dos mais leves aos mais exigentes.

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Especificações técnicas

Especificações técnicas
A bomba de vácuo de parafuso COBRA BC 0600 F funciona com dois rotores de parafuso que giram em sentidos opostos. Deste modo, o meio a aspirar é aprisionado nas câmaras entre o cilindro e as hélices dos parafusos e é transportado até à descarga de gás. O mecanismo de parafuso minimiza as áreas de deslizamento no interior da bomba, apresentando desta forma um excelente comportamento no reinício da bomba e elevada capacidade no processamento de pós.

O avançado design de parafuso resulta num consumo elétrico reduzido quando comparado com soluções standard. Também origina uma carga térmica mais reduzida do gás comprimido. As bombas da série BC utilizam um método de arrefecimento direto que resulta em temperaturas uniformes ao longo de todo o corpo da bomba, eliminado os pontos frios e garantindo a estabilidade térmica da câmara de água.

O design exclusivo de parafuso de “apoio suspenso” elimina os problemas com os rolamentos de entrada e permite uma redução no espaço necessário.

A bomba de vácuo COBRA BC 0600 F utiliza uma unidade de vácuo booster de alto desempenho para otimizar o desempenho do sistema.

Desenho COBRA BC 0600 F
COBRA BC 0600 F
Capacidade de sucção

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Capacidade de sucção
Dados técnicos COBRA BC 0600 F
Capacidade nominal de bombeamento 520 m³/h
Pressão final 0,003 hPa (mbar)
Potência nominal do motor da bomba auxiliar 1,5 kW
Potência nominal do motor do booster de vácuo 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 3000 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Consumo energético à pressão final/modo de inatividade 2,1 / 1,1 kW
Nível de ruído (ISO 2151) 62 dB(A)
Consumo de água 3,0 l/min
Consumo de nitrogénio 0-50 l/min
Peso aprox. 315 kg
Dimensões (C x L x A) 933 x 354 x 694 mm
Entrada/saída de gás DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

Especificações técnicas

Especificações técnicas
A bomba de vácuo de parafuso COBRA BC 0600 F funciona com dois rotores de parafuso que giram em sentidos opostos. Deste modo, o meio a aspirar é aprisionado nas câmaras entre o cilindro e as hélices dos parafusos e é transportado até à descarga de gás. O mecanismo de parafuso minimiza as áreas de deslizamento no interior da bomba, apresentando desta forma um excelente comportamento no reinício da bomba e elevada capacidade no processamento de pós.

O avançado design de parafuso resulta num consumo elétrico reduzido quando comparado com soluções standard. Também origina uma carga térmica mais reduzida do gás comprimido. As bombas da série BC utilizam um método de arrefecimento direto que resulta em temperaturas uniformes ao longo de todo o corpo da bomba, eliminado os pontos frios e garantindo a estabilidade térmica da câmara de água.

O design exclusivo de parafuso de “apoio suspenso” elimina os problemas com os rolamentos de entrada e permite uma redução no espaço necessário.

A bomba de vácuo COBRA BC 0600 F utiliza uma unidade de vácuo booster de alto desempenho para otimizar o desempenho do sistema.

Desenho
COBRA BC 0600 F
COBRA BC 0600 F
Capacidade de sucção

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Capacidade de sucção
Dados técnicos COBRA BC 0600 F
Capacidade nominal de bombeamento 520 m³/h
Pressão final 0,003 hPa (mbar)
Potência nominal do motor da bomba auxiliar 1,5 kW
Potência nominal do motor do booster de vácuo 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 3000 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Consumo energético à pressão final/modo de inatividade 2,1 / 1,1 kW
Nível de ruído (ISO 2151) 62 dB(A)
Consumo de água 3,0 l/min
Consumo de nitrogénio 0-50 l/min
Peso aprox. 315 kg
Dimensões (C x L x A) 933 x 354 x 694 mm
Entrada/saída de gás DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

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