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COBRA BA 0100 C

A bomba COBRA BA 0100 C é a bomba de vácuo de parafusos a seco já comprovada para a evacuação de câmaras de fechamento de carga e outros processos exigentes na produção de células fotovoltaicas, de ecrãs planos e de semicondutores. Com o seu arrefecimento a ar eficiente e a maior vazão da sua classe, esta bomba de vácuo é ideal para todas as aplicações que requerem uma produção de vácuo eficaz, rápida e confiavel. A tecnologia de bombas de vácuo COBRA é livre de óleo e sem contato, o que permite a evacuação de meios carregados de partículas residuais.

A bomba COBRA BA 0100 C é equipada com um motor de elevada eficiência e baixo consumo em stand-by que oferece um excelente potencial de economia de energia.

A construção compacta da bomba COBRA BA 0100 C exige muito pouco espaço e os seus requisitos energéticos extremamente baixos mantêm os custos operacionais no mínimo.

Aplicações:

  • CVD de plasma de alta densidade (HDP CVD)
  • Rápido processamento térmico (RTP)
  • CVD subatmosférica (SACVD)
  • CVD metal-orgânico (MOCVD)
  • CVD potenciado por plasma (PECVD)
  • CVD de baixa pressão (LPCVD)
  • Deposição de camada atómica (ALD)
  • Aplicações de fechamento de carga

COBRA – a nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes.

COBRA – a nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes.

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Especificações técnicas

A COBRA BA 0100 C é uma bomba de vácuo monocelular de parafuso de veio duplo. Dois rotores de parafuso giram no interior do cilindro, aprisionando e comprimindo o gás que é transportado até à saída. Durante o processo de compressão, os rotores dos parafusos não entram em contato entre si nem com o cilindro, por isso, na câmara não são necessários lubrificantes nem fluidos de processo. O mais recente desenvolvimento do desenho dos parafusos apresenta um rolamento unilateral que reduz drasticamente o consumo de energia e evita temperaturas elevadas do gás durante a compressão. A bomba COBRA BA 0100 C incorpora um arrefecimento a ar eficaz como padrão.
 

Desenho COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Vazão

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10% 50 Hz 60 Hz

50 Hz 60 Hz
Vazão
Dados técnicos BA 0100 C
Capacidade nominal de bombeamento 85 m³/h
Pressão final 0,01 hPa (mbar)
Potência nominal do motor 1,5 kW
Velocidade nominal do motor 3000 min-1
Consumo energético à pressão final 1,1 kW
Nível de ruído (ISO 2151) 58 dB(A)
Consumo de nitrogénio 0–50 l/min
Peso aprox. 120 kg
Dimensões (C x L x A) 634 x 304 x 338 mm
Entrada/saída de gás DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Especificações técnicas

A COBRA BA 0100 C é uma bomba de vácuo monocelular de parafuso de veio duplo. Dois rotores de parafuso giram no interior do cilindro, aprisionando e comprimindo o gás que é transportado até à saída. Durante o processo de compressão, os rotores dos parafusos não entram em contato entre si nem com o cilindro, por isso, na câmara não são necessários lubrificantes nem fluidos de processo. O mais recente desenvolvimento do desenho dos parafusos apresenta um rolamento unilateral que reduz drasticamente o consumo de energia e evita temperaturas elevadas do gás durante a compressão. A bomba COBRA BA 0100 C incorpora um arrefecimento a ar eficaz como padrão.
 

Desenho
COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Vazão

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10% 50 Hz 60 Hz

50 Hz
60 Hz
Vazão
Dados técnicos BA 0100 C
Capacidade nominal de bombeamento 85 m³/h
Pressão final 0,01 hPa (mbar)
Potência nominal do motor 1,5 kW
Velocidade nominal do motor 3000 min-1
Consumo energético à pressão final 1,1 kW
Nível de ruído (ISO 2151) 58 dB(A)
Consumo de nitrogénio 0–50 l/min
Peso aprox. 120 kg
Dimensões (C x L x A) 634 x 304 x 338 mm
Entrada/saída de gás DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Transferências

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