COBRA DS 1200/1800 A/A H
Bombas de vácuo de parafuso a seco
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design avançado do parafuso, qualidades excelentes de execução, acelerador de vácuo integrado, ideal para aplicações de painel solar e plano e de semicondutores e processos em ambientes agressivos, com altas temperaturas de gás, como corrosão e CVD, excelente manuseio de pó, parafuso revestido em tântalo para aplicações pesadas
Eficiente
Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, longos intervalos de serviço, alta disponibilidade, alto rendimento de hidrogênio, baixo consumo de energia, controle de temperatura variável
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente, bomba de apoio e acelerador de vácuo combinados em uma base estrutural compacta, baixo nível de vibração
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
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Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)
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Câmaras de load lock
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Diodo orgânico emissor de luz (OLED)
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Deposição física de vapor (PVD)
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Desgaseificação
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Médio
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Pesado
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Leve
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Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)