Solutions de vide pour le traitement des semi-conducteurs

Chez Busch, nous proposons l'une des gammes de produits les plus complètes de pompes à vide et de systèmes pour les procédés de traitement dans la fabrication de semi-conducteurs.

Forts de leurs nombreuses années d'expérience, nos spécialistes sont disponibles pour vous conseiller dans tous les domaines utilisant des solutions de vide au sein de l'industrie : depuis les applications de sas de chargement jusqu'aux applications ayant les procédés les plus exigeants, en passant par les systèmes de vide centralisés sur les sites de production. Grâce à notre large gamme de pompes à vide sèches, vous trouverez toujours la pompe à vide la plus économique et la mieux adaptée techniquement à vos besoins.

Nous nous efforçons toujours de fournir des solutions produits optimisées, offrant des coûts de possession réduits et une fiabilité accrue pour des applications telles que :
 

  • Sas de chargement/chambres de transfert
  • Pré-nettoyage
  • Dépôt physique en phase vapeur (PVD)/pulvérisation cathodique
  • Implant ionique
  • Gravure
  • Dépôt chimique en phase vapeur (CVD/LPCVD/PECVD)
  • EPI
  • Dépôt en couches atomiques (ALD)


SOLUTIONS POUR APPLICATIONS SEMI-CONDUCTEURS

Pompes à vide sèches à vis COBRA


Nos pompes à vide sèches à vis des séries COBRA BA, BC et DS répondent aux besoins spécifiques des applications semi-conducteurs. La série COBRA BA est une pompe à vide à vis refroidie par air pour des applications légères et moyennes. La série COBRA BC est une solution très efficace et compacte pour les applications légères et moyennes. La série COBRA DS est idéale pour les applications les plus exigeantes au sein de la production.

Voir les produits COBRA pour applications semi-conducteurs.


Pompes à vide sèches à vis COBRA BC – Premium Efficiency

La série COBRA BC Premium Efficiency a été spécialement conçue pour établir de nouveaux standards en matière d'efficacité énergétique. Elle est équipée de la toute dernière technologie Busch VacBoost qui répond à la demande actuelle d'économies d'énergie maximales et de durabilité environnementale. Un mode d'attente intelligent, ainsi qu'une large gamme de modes de veille flexibles, offrent un potentiel d'économies d'énergie supplémentaire.

Voir les produits pour applications semi-conducteurs

Pompes à vide à spirales Fossa

Les pompes à vide à spirales Fossa conviennent parfaitement à la production de vide fin dans les sas de chargement ou chambres de transfert, pour les détecteurs de fuite à hélium, les spectromètres de masse, les microscopes électroniques et autres instruments d'analyse. Elles sont également utilisées dans les procédés de traitement des gaz exigeant le plus haut degré de pureté dans le processus de récupération des gaz.

Voir Fossa

LE SERVICE BUSCH – UN SERVICE DE POINTE QUI FAIT LA DIFFÉRENCE

Avec 12 grands centres de service dédiés aux semi-conducteurs à travers le monde et de nombreuses équipes de techniciens de service sur site, nous offrons à nos clients une assistance continue, rapide et fiable, qu'il s'agisse de pompes à vide, de réduction des dysfonctionnements des systèmes, de maintenance, de reconditionnement ou de remplacement, ces opérations se font soit dans les centres de service soit sur site. Notre offre comprend le reconditionnement d'équipements de vide d'autres fabricants, notamment des pompes à vide sèches, des pompes à vide à palettes lubrifiées, des pompes à vide turbomoléculaires et des pompes à vide cryogéniques.

Vous souhaitez en savoir plus ?
Contactez-nous directement ( Busch Belgique ):
+32 (0)9 348 47 22 Contactez-nous
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