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TORRI BD 0100–0600 A

Pompes à vide multi-étagées à lobes rotatifs

Flexible
Shortest pump-down time for load lock chambers
Efficient
Extremely low energy consumption, minimal maintenance, high uptime
Compact
Exceptionally small and light-weight

Données techniques

Schéma TORRI BD 0100–0600 A
TORRI BD 0100–0600 A
Pumping speed

Air at 20 °C. Tolerance: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Pumping speed
Spécifications techniques BD 0100 A BD 0300 A BD 0600 A
Vitesse de pompage nominale 100 m³/h 600 m³/h
Pression finale 0,01 hPa (mbar) 0,001 hPa (mbar) 0,001 hPa (mbar)
Puissance nominale du moteur de la pompe primaire 2,2 kW 2,2 kW 2,2 kW
Puissance nominale du moteur de la pompe booster - 2,2 kW 2,2 kW
Nominal motor speed backing pump 5500 min-1 5500 min-1 5500 min-1
Nominal motor speed vacuum booster - 3500 min-1 7000 min-1
Consommation électrique à pression finale 0,4 kW 0,5 kW 0,6 kW
Niveau sonore (ISO 2151) < 60 dB(A) < 60 dB(A) < 60 dB(A)
Consommation d'eau min, 1,0 l/min min, 2,0 l/min min, 2,0 l/min
Poids approx. 60 kg 120 kg 120 kg
Dimensions (L x W x H) 450 x 230 x 275 mm 530 x 230 x 520 mm 530 x 230 x 520 mm
Aspiration/échappement de gaz DN 50 KF / DN 25 KF DN 80 KF / DN 25 KF DN 80 KF / DN 25 KF
Nominal pumping speed 300 m³/h
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TORRI BD 0100–0600 A

Pompes à vide multi-étagées à lobes rotatifs

Flexible
Shortest pump-down time for load lock chambers
Efficient
Extremely low energy consumption, minimal maintenance, high uptime
Compact
Exceptionally small and light-weight

Données techniques

Schéma
TORRI BD 0100–0600 A
TORRI BD 0100–0600 A
Pumping speed

Air at 20 °C. Tolerance: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Pumping speed
Spécifications techniques BD 0100 A BD 0300 A BD 0600 A
Vitesse de pompage nominale 100 m³/h 600 m³/h
Pression finale 0,01 hPa (mbar) 0,001 hPa (mbar) 0,001 hPa (mbar)
Puissance nominale du moteur de la pompe primaire 2,2 kW 2,2 kW 2,2 kW
Puissance nominale du moteur de la pompe booster - 2,2 kW 2,2 kW
Nominal motor speed backing pump 5500 min-1 5500 min-1 5500 min-1
Nominal motor speed vacuum booster - 3500 min-1 7000 min-1
Consommation électrique à pression finale 0,4 kW 0,5 kW 0,6 kW
Niveau sonore (ISO 2151) < 60 dB(A) < 60 dB(A) < 60 dB(A)
Consommation d'eau min, 1,0 l/min min, 2,0 l/min min, 2,0 l/min
Poids approx. 60 kg 120 kg 120 kg
Dimensions (L x W x H) 450 x 230 x 275 mm 530 x 230 x 520 mm 530 x 230 x 520 mm
Aspiration/échappement de gaz DN 50 KF / DN 25 KF DN 80 KF / DN 25 KF DN 80 KF / DN 25 KF
Nominal pumping speed 300 m³/h

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