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TORRI BD 0100–0600 A

Pompes à vide multi-étagées à lobes rotatifs

La solution compacte et économe en énergie pour les sas de chargement

Modulable

Temps d'évacuation des sas de chargement le plus court

Efficace

Consommation d'énergie extrêmement faible, maintenance minimale, temps de fonctionnement élevé

Compacte

Exceptionnellement petite et légère

Caractéristiques techniques

Marchés et applications

Fabrication de semi-conducteurs
  • Légère