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COBRA DS 3181 A

Vis

La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les procédés exigeants

Haute performance

Concept de vis sophistiqué, excellentes qualités de fonctionnement, booster de vide intégré, parfaitement adaptée au dépôt chimique en phase vapeur, au recuit thermique rapide ou au dépôt par couche atomique

Efficace

Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, refroidissement par eau indirect efficace

Compacte

Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct, pompe primaire et pompe booster combinées sur un châssis compact

Caractéristiques techniques

Marchés et applications

Fabrication d'écrans plats
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
  • Diode électroluminescente organique (OLED)
  • Sas de chargement
  • Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Métallurgie
  • Revêtements
Fabrication de semi-conducteurs
  • Lourde
Industrie de l'énergie solaire
  • Sas de chargement
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)