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COBRA BC 1000/2000 F

Vis

La solution idéale pour les applications semi-conducteurs légères à moyennes

Haute performance

Concept de vis perfectionné, structure en forme de cloche, vis auto-équilibrées brevetées, excellentes qualités de fonctionnement, pompe booster intégrée, parfaitement adaptée aux sas de chargement et aux chambres de transfert, ainsi qu'aux travaux de métrologie, de lithographie, de dépôt physique en phase vapeur et de recuit thermique rapide

Efficace

Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, refroidissement direct par eau

Compacte

Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct, pompe primaire et pompe booster combinées sur un cadre de base compact

Caractéristiques techniques

Marchés et applications

Métallurgie
  • Revêtements
Fabrication de semi-conducteurs
  • Moyenne
Industrie de l'énergie solaire
  • Dépôt physique en phase vapeur (PVD)

Accessoires

  • Revêtement spécial pour la manutention des gaz et vapeurs corrosifs