Spiral-Vakuumpumpen bestehen aus einer feststehenden und einer orbitierenden Spirale. Die orbitierendeSpirale bewegt sich innerhalb der feststehenden Spirale. Dadurch wird Gas von außen durch die Zwischenräume der beiden Spiralen kontinuierlich nach innen, zum Mittelpunkt der Spiralen gefördert und dort ausgestoßen.
Dieses Verdichtungssystem benötigt keinerlei Schmierung, so dass dasFördermedium völlig trocken verdichtet wird. Durch die vom Verdichtungsraum getrennten Lager kann kein Lagerfett in diese gelangen und verschmutzen. Außerdem kann durch die hermetische Bauweise (≥1 x 10-6 mbar l/s) jegliches Eindringen von Umgebungsluft verhindert werden.
Die Wartung beschränkt sich auf den Wechsel der Dichtungen an den Spiralen. Der Austausch der Dichtungen kann vom Betreiber selbst in wenigen Minuten ohne Spezialwerkzeuge vorgenommen werden.
Schrauben-Vakuumpumpe zur Arc-PVD-Beschichtung