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Turbo TM 1100 - 2200 A

Turbo sind die Turbomolekular-Vakuumpumpen von Busch. Sie wurden für industrielle Hochvakuum-Anwendungen entwickelt und sind für Anwendungen im Hochvakuum bis 1·10-10 hPa (mbar) und hohe Saugvermögen bzw. Gasdurchsätze konzipiert. Die Gasförderung erfolgt völlig frei von Betriebsmitteln.

Selbst durch höchste Belastungen und ungewollte Gaseinbrüche wird das hohe Saugvermögen von Turbo Vakuumpumpen nicht beeinträchtigt. Der Betrieb der Vakuumpumpen ist in jeder beliebigen Einbaulage möglich. Die kompakte Rotorenkonstruktion ist in ihrer Klasse unübertroffen und verbindet höchste Förderleistung mit kleinsten Abmessungen.

Die Antriebs- und Steuerungseinheit ist vollständig in das Pumpengehäuse integriert. Ein Sperrgas- und Spülanschluss gehört zum Standardlieferumfang. '

Turbo Vakuumpumpen sind ideal für den Einsatz in vielen industriellen Hochvakuumanwendungen, wie:
 

  • Vakuumöfen
  • Oberflächenbehandlung
  • Beschichtungsanlagen
  • Physikalische Aufdampfung (PVD)
  • Dünnfilmbeschichtung

 


Turbo – für Spitzenleistung im industriellen Hochvakuum.

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Technische Ausführung
Turbo Turbomolekular-Vakuumpumpen arbeiten nach dem Turbinenprinzip. Schnell drehende Rotorblätter drehen sich dabei zwischen den Statorenblättern. Dadurch werden auf die ungeordneten Gasteilchen im Innern der Vakuumpumpe Impulse ausgeübt, die zu einem kontrollierten Gasstrom vom Einlass zum Auslass der Vakuumpumpe führen. Zur Erzeugung dieses Moments erreichen die Rotoren eine Umfangsgeschwindigkeit von >30.000 min-1. Die integrierte Hochdruckstufe erlaubt ein höheres Vorvakuum und somit kleinere Vorpumpen. Die dauergeschmierten Keramiklager haben eine MTBF (Mean Time Between Failures) von mehr als 200.000 Stunden.


Turbo TM 1100 - 2200 A
Turbo TM 1100 - 2200 A
Saugvermögen

N2 von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen <p> N<sub>2</sub> von 20 °C. Toleranz: ± 10%</p>
Technische Daten Turbo TM 1100 A Turbo TM 1600 A Turbo TM 2200 A
Nennsaugvermögen für N2 l/s 1080 1600 2200
Empfohlene Größe der Vorpumpe m3/h >36 >40 >60
Enddruck hPa (mbar) < 1·10-10* < 5·10-8* < 1·10-8*
Kühlwasserverbrauch l/h >200 >200 >200
Max. Druck in der Vorvakuumleitung für N2 hPa (mbar) <1 <1 <0,5
Erforderliche Umgebungstemperatur °C 5 - 35 5 - 40 5 - 35
Schalldruckpegel (ISO 2151) dB(A) <45 <45 <60
Max. Betriebsleistung W 400 400 515
Zulässiger Kühlwasserdruck bar 3 - 5 3 - 5 3 - 5
Zulässige Kühlwassertemperatur °C 10 - 20 10 - 35 10 - 30
Gewicht ca. kg 32 37 54
Abmessungen (H x Ø) mm 264 x 385 335 x 335 367 x 335
Gaseintritt / -austritt DN 40 KF / DN 200 ISO-F DN 40 KF / DN 250 ISO-F DN 40 KF / DN 250 ISO-F
* mit empfohlener Vorpumpe

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