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Rangu DF 1000 - 2800 A

Rangu sind die neuen Diffusions-Vakuumpumpen für Hochvakuumanwendungen von Busch. Die drei Rangu Baugrößen lassen sich überall dort hervorragend einsetzen, wo Hochvakuum bis < 10-8 hPa (mbar) und höchste Saugvermögen, bzw. Gasdurchsätze gefordert werden.

Bewährt und robust
Rangu Diffusions-Vakuumpumpen arbeiten nach dem bewährten Dampfstrahlprinzip und zeichnen sich durch größte Zuverlässigkeit aus. Selbst unter schwierigsten Betriebsbedingungen, die andere Vakuumpumpen zerstören würden, arbeiten Rangu Diffusions-Vakuumpumpen betriebssicher und mit konstant hoher Leistung mit langer Lebensdauer.

Betriebssicher und wirtschaftlich
Mit Rangu Diffusions-Vakuumpumpen können nahezu alle, auch reaktive Gase und Dämpfe gefördert werden. Sie arbeiten weitestgehend wartungsfrei und mit höchstem Wirkungsgrad.
Rangu Diffusions-Vakuumpumpen können ab einem Vordruck von 10-3 mbar betrieben werden. Zur Erzeugung des Vorvakuums empfehlen wir ein Vakuumsystem bestehend aus einer bewährten Drehschieber-Vakuumpumpe R 5 oder einer trockenlaufenden Schrauben- Vakuumpumpe COBRA jeweils mit einer Wälzkolben-Vakuumpumpe als Booster. Busch bietet ein umfangreiches Programm an Vakuumsystemen, das hervorragend zur Erzeugung des Vorvakuums für Rangu Diffusions-Vakuumpumpen abgestimmt werden kann.

Anwendungen
Rangu Diffusions-Vakuumpumpen eignen sich hervorragend in allen industriellen Hochvakuumanwendungen, wie:
 

  • Glasbeschichtungsanlagen
  • Vakuumöfen
  • Metallbeschichtungen
  • Physikalische Aufdampfung (PVD)
  • Oberflächenbehandlung
  • Dünnfilmbeschichtung

Rangu – Hochvakuum auch für schwierige Prozesse.

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Technische Ausführung
Rangu Diffusions-Vakuumpumpen bestehen im Wesentlichen aus einem zylindrischen Pumpenkörper mit einem beheizbaren Boden. Darüber befindet sich als Treibmittel Öl, das erhitzt wird und dessen Dampf in einem Düsensystem aufsteigt und über mehrere Dampfstrahlstufen aus diesem System unter hohem Druck wieder austritt. Die Moleküle des Prozessgases werden von diesen Dampfstrahlen erfasst und nach unten befördert, wo sich der Auslass zur Vorpumpe befindet. Der Öldampf kondensiert an der Innenfläche des wassergekühlten Pumpenkörpers aus und fließt zum Boden zurück. Durch das mehrstufige, innovative Düsenkonzept bieten Rangu Diffusions-Vakuumpumpen eine extrem hohe und stabile Saugleistung.


Rangu DF 1000 - 2800 A
Rangu DF 1000 - 2800 A
Saugvermögen

N2 von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten Rangu DF 1000 A Rangu DF 1700 A Rangu DF 2800 A
Nennsaugvermögen für N2 l/s 10000 17300 28000
Empfohlene Größe der Vorpumpe m³/h 170 510 510
Enddruck hPa (mbar) < 7·10-8* < 7·10-8* < 7·10-8*
Betriebsleistung kW 12 24 24
Kühlwasserverbrauch l/h 300 800 800
Erforderliche Kühlwassertemperatur °C 15 - 26 15 - 26 15 - 26
Aufheizdauer minutes 45 60 60
Flüssigkeitsfüllmenge l 4,7 11,3 11,3
Max. Druck in der Vorvakuumleitung für N2 hPa (mbar) 0,85 0,65 0,71
Gewicht ca. kg 264 612 680
Abmessungen (W x H x Ø) mm 1030 x 1219 x 630 1173 x 1740 x 800 1673 x 1832 x 1000
Gaseintritt / -austritt DN 630 ISO-K / DN 160 ISO-K DN 800 ISO-K / DN 200 ISO-K DN 1000 ISO-K / DN 200 ISO-K
* mit empfohlener Vorpumpe

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