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COBRA DS 8162 / 8163 A/E

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Kurze Prozesszeiten:
    durch hohes Saugvermögen
  • Kompakte Konstruktion
     

COBRA DS 8162/8163 A/E sind trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA DS. Mit ihren großen Saugvermögen, sogar bei hohem Wasserstoffdurchsatz, eignen sie sich für alle anspruchsvollen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie der COBRA DS ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.

Die trockene Verdichtung der COBRA DS, ihr eigens entwickeltes Schraubenprofil und der ungehinderte Gasauslass sorgen für eine hohe Dampf- und Partikelverträglichkeit. Die Schrauben sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Somit wird das Eindringen von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln verhindert und Korrosion vorgebeugt.

Standardmäßig haben die COBRA DS 8162/8163 A/E einen Vakuum-Booster integriert, der höhere Saugvermögen und Enddrücke garantiert. Vorpumpe und Vakuum-Booster sind zusammen auf einem kompakten Grundrahmen montiert.

Höchste Wirtschaftlichkeit bieten die hocheffizienten Motoren der COBRA DS 8162/8163 A/E. Durch geringen Wartungsaufwand, niedrige Betriebskosten, hohe Verfügbarkeit und lange Lebensdauer sind die Gesamtkosten äußerst niedrig. Damit setzt die COBRA DS neue Maßstäbe in ihrer Leistungsklasse.

Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit diesen Schrauben-Vakuumpumpen ist dank ihres flexiblen, passgenauen „Fit-in-Place“- Designs einfach und schnell durchzuführen.

Anwendungen

  • High-capacity load lock
  • Coater process (PGMEA solvent process)

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

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Technische Ausführung

Technische Ausführung
COBRA DS 8162/8163 A/E sind Schrauben- Vakuumpumpen kombiniert mit einem Vakuum-Booster. Im Zylinder der Schrauben- Vakuumpumpe drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. COBRA DS Vakuumpumpen arbeiten mit einer effizienten indirekten Wasserkühlung, die für eine regelbare Wärmeverteilung im gesamten Pumpenkörper sorgt, um stets exakt auf Prozessveränderungen reagieren zu können. Das hochmoderne Schraubenprofil ermöglicht zudem ein äußerst hohes Saugvermögen beim Absaugen von Wasserstoff. Die COBRA DS 8162/8163 A/E nutzen leistungsstarke Vakuum-Booster zur Leistungsoptimierung.

Maßzeichnung COBRA DS 8162/8163 A/E
COBRA DS 8162/8163 A/E
Saugvermögen

Luft von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA DS 8162 E COBRA DS 8163 A
Nennsaugvermögen 7000 m³/h 7385 m³/h
Enddruck 0,001 (1·10-3) hPa (mbar) 0,001 (1·10-3) hPa (mbar)
Motornennleistung Vakuum-Booster 20 kW 20 kW
Motornennleistung Vorpumpe 2 · 15 kW 3 · 15 kW
Motornenndrehzahl Vorpumpe 3600 min-1 3600 min-1
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster 3600 min-1 3600 min-1
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus 21 / 19 kW 30 kW
Schalldruckpegel (ISO 2151) <78 dB(A) <78 dB(A)
Wasserverbrauch 22 l/min 31 l/min
Stickstoffverbrauch 2 · (0 - 200) l/min 3 · (0 - 200) l/min
Gewicht ca. 2500 kg 3320 kg
Abmessungen (L × W × H) 1604 x 1470 x 1860 mm 1604 x 2114 x 1860 mm
Gaseintritt/-austritt DN 200 / 2 · DN 63 DN 200 / 3 · DN 63

Technische Ausführung

Technische Ausführung
COBRA DS 8162/8163 A/E sind Schrauben- Vakuumpumpen kombiniert mit einem Vakuum-Booster. Im Zylinder der Schrauben- Vakuumpumpe drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. COBRA DS Vakuumpumpen arbeiten mit einer effizienten indirekten Wasserkühlung, die für eine regelbare Wärmeverteilung im gesamten Pumpenkörper sorgt, um stets exakt auf Prozessveränderungen reagieren zu können. Das hochmoderne Schraubenprofil ermöglicht zudem ein äußerst hohes Saugvermögen beim Absaugen von Wasserstoff. Die COBRA DS 8162/8163 A/E nutzen leistungsstarke Vakuum-Booster zur Leistungsoptimierung.

Maßzeichnung
COBRA DS 8162/8163 A/E
COBRA DS 8162/8163 A/E
Saugvermögen

Luft von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA DS 8162 E COBRA DS 8163 A
Nennsaugvermögen 7000 m³/h 7385 m³/h
Enddruck 0,001 (1·10-3) hPa (mbar) 0,001 (1·10-3) hPa (mbar)
Motornennleistung Vakuum-Booster 20 kW 20 kW
Motornennleistung Vorpumpe 2 · 15 kW 3 · 15 kW
Motornenndrehzahl Vorpumpe 3600 min-1 3600 min-1
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster 3600 min-1 3600 min-1
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus 21 / 19 kW 30 kW
Schalldruckpegel (ISO 2151) <78 dB(A) <78 dB(A)
Wasserverbrauch 22 l/min 31 l/min
Stickstoffverbrauch 2 · (0 - 200) l/min 3 · (0 - 200) l/min
Gewicht ca. 2500 kg 3320 kg
Abmessungen (L × W × H) 1604 x 1470 x 1860 mm 1604 x 2114 x 1860 mm
Gaseintritt/-austritt DN 200 / 2 · DN 63 DN 200 / 3 · DN 63

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