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COBRA DS 8162 / 8163 A/E

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Kurze Prozesszeiten:
    durch hohes Saugvermögen
  • Kompakte Konstruktion
     

COBRA DS 8162/8163 A/E sind trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA DS. Mit ihren großen Saugvermögen, sogar bei hohem Wasserstoffdurchsatz, eignen sie sich für alle anspruchsvollen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie der COBRA DS ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.

Die trockene Verdichtung der COBRA DS, ihr eigens entwickeltes Schraubenprofil und der ungehinderte Gasauslass sorgen für eine hohe Dampf- und Partikelverträglichkeit. Die Schrauben sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Somit wird das Eindringen von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln verhindert und Korrosion vorgebeugt.

Standardmäßig haben die COBRA DS 8162/8163 A/E einen Vakuum-Booster integriert, der höhere Saugvermögen und Enddrücke garantiert. Vorpumpe und Vakuum-Booster sind zusammen auf einem kompakten Grundrahmen montiert.

Höchste Wirtschaftlichkeit bieten die hocheffizienten Motoren der COBRA DS 8162/8163 A/E. Durch geringen Wartungsaufwand, niedrige Betriebskosten, hohe Verfügbarkeit und lange Lebensdauer sind die Gesamtkosten äußerst niedrig. Damit setzt die COBRA DS neue Maßstäbe in ihrer Leistungsklasse.

Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit diesen Schrauben-Vakuumpumpen ist dank ihres flexiblen, passgenauen „Fit-in-Place“- Designs einfach und schnell durchzuführen.

Anwendungen

  • High-capacity load lock
  • Coater process (PGMEA solvent process)

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

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Technische Ausführung
COBRA DS 8162/8163 A/E sind Schrauben- Vakuumpumpen kombiniert mit einem Vakuum-Booster. Im Zylinder der Schrauben- Vakuumpumpe drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. COBRA DS Vakuumpumpen arbeiten mit einer effizienten indirekten Wasserkühlung, die für eine regelbare Wärmeverteilung im gesamten Pumpenkörper sorgt, um stets exakt auf Prozessveränderungen reagieren zu können. Das hochmoderne Schraubenprofil ermöglicht zudem ein äußerst hohes Saugvermögen beim Absaugen von Wasserstoff. Die COBRA DS 8162/8163 A/E nutzen leistungsstarke Vakuum-Booster zur Leistungsoptimierung.


COBRA DS 8162/8163 A/E
COBRA DS 8162/8163 A/E
Saugvermögen

Luft von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA DS 8162 E COBRA DS 8163 A
Nennsaugvermögen m³/h 7000 7385
Enddruck hPa (mbar) 0,001 (1·10-3) 0,001 (1·10-3)
Motornennleistung Vorpumpe kW 2 · 15 3 · 15
Motornennleistung Vakuum-Booster kW 20 20
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus kW 21 / 19 30
Motornenndrehzahl Vorpumpe min-1 3600 3600
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster min-1 3600 3600
Schalldruckpegel (ISO 2151) dB(A) <78 <78
Wasserverbrauch l / min 22 31
Stickstoffverbrauch l / min 2 · (0 - 200) 3 · (0 - 200)
Gewicht ca. kg 2500 3320
Abmessungen (L x W x H) mm 1604 x 1470 x 1860 1604 x 2114 x 1860
Gaseintritt / -austritt DN 200 / 2 · DN 63 DN 200 / 3 · DN 63

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