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COBRA DS 5161 / 9161 A

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Kurze Prozesszeiten:
    durch hohes Saugvermögen
  • Kompakte Konstruktion
     

Die COBRA DS 5161/9161 A sind trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA DS. Mit ihrem großen Saugvermögen, sogar bei hohem Wasserstoffdurchsatz, eignen sie sich für alle anspruchsvollen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiter-produktion. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie der COBRA DS ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.

Die trockene Verdichtung der COBRA DS, ihr eigens entwickeltes Schraubenprofil und der ungehinderte Gasauslass sorgen für eine hohe Dampf- und Partikelverträglichkeit. Die Schrauben sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Somit wird das Eindringen von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln verhindert und Korrosion vorgebeugt.

Standardmäßig haben die COBRA DS 5161/9161 A einen Vakuum-Booster integriert, der höhere Saugvermögen und Enddrücke garantiert. Vorpumpe und Vakuum-Booster sind zusammen auf einem kompakten Grundrahmen montiert.

Höchste Wirtschaftlichkeit bietet der hocheffiziente Motor der COBRA DS 5161/9161 A. Durch geringen Wartungsaufwand, niedrige Betriebskosten, hohe Verfügbarkeit und lange Lebensdauer sind die Gesamtkosten äußerst niedrig. Damit setzt die COBRA DS neue Maßstäbe in ihrer Leistungsklasse.

Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit diesen Schrauben-Vakuumpumpen ist dank ihres flexiblen, passgenauen „Fit-in-Place“- Designs einfach und schnell durchzuführen.

Anwendungen

  • High-density plasma CVD (HDP-CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD)
  • Metal-organic CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD)
  • Low-pressure CVD (LPCVD)
  • Atomic layer deposition (ALD)

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

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Technische Ausführung

Technische Ausführung
COBRA DS 5161/9161 A sind Schrauben- Vakuumpumpen kombiniert mit einem Vakuum-Booster. Im Zylinder der Schrauben- Vakuumpumpe drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. COBRA DS Vakuumpumpen arbeiten mit einer effizienten indirekten Wasserkühlung, die für eine regelbare Wärmeverteilung im gesamten Pumpenkörper sorgt, um stets exakt auf Prozessveränderungen reagieren zu können. Das hochmoderne Schraubenprofil ermöglicht zudem ein äußerst hohes Saugvermögen beim Absaugen von Wasserstoff. Die COBRA DS 5161/9161 A nutzen einen leistungsstarken Vakuum-Booster zur Leistungsoptimierung.

Maßzeichnung COBRA DS 5161/9161 A
COBRA DS 5161/9161 A
Saugvermögen

Luft von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA DS 5161 A COBRA DS 9161 A
Nennsaugvermögen 4300 m³/h 6160 m³/h
Enddruck 0,001 (1·10-3) hPa (mbar) 0,001 (1·10-3) hPa (mbar)
Motornennleistung Vakuum-Booster 15 kW 20 kW
Motornennleistung Vorpumpe 15 kW 15 kW
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus 12,5 kW 13 kW
Motornenndrehzahl Vorpumpe 3600 min-1 3600 min-1
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster 3600 min-1 3600 min-1
Schalldruckpegel (ISO 2151) < 75 dB(A) < 75 dB(A)
Wasserverbrauch min, 10 l/min min, 11 l/min
Stickstoffverbrauch 0 – 200 l/min 0 – 200 l/min
Gewicht ca. 1440 kg 1800 kg
Abmessungen (L × W × H) 1550 x 723 x 1504 mm 1572 x 810 x 1860 mm
Gaseintritt/-austritt DN 250 / DN 63 DN 200 / DN 63

Technische Ausführung

Technische Ausführung
COBRA DS 5161/9161 A sind Schrauben- Vakuumpumpen kombiniert mit einem Vakuum-Booster. Im Zylinder der Schrauben- Vakuumpumpe drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. COBRA DS Vakuumpumpen arbeiten mit einer effizienten indirekten Wasserkühlung, die für eine regelbare Wärmeverteilung im gesamten Pumpenkörper sorgt, um stets exakt auf Prozessveränderungen reagieren zu können. Das hochmoderne Schraubenprofil ermöglicht zudem ein äußerst hohes Saugvermögen beim Absaugen von Wasserstoff. Die COBRA DS 5161/9161 A nutzen einen leistungsstarken Vakuum-Booster zur Leistungsoptimierung.

Maßzeichnung
COBRA DS 5161/9161 A
COBRA DS 5161/9161 A
Saugvermögen

Luft von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA DS 5161 A COBRA DS 9161 A
Nennsaugvermögen 4300 m³/h 6160 m³/h
Enddruck 0,001 (1·10-3) hPa (mbar) 0,001 (1·10-3) hPa (mbar)
Motornennleistung Vakuum-Booster 15 kW 20 kW
Motornennleistung Vorpumpe 15 kW 15 kW
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus 12,5 kW 13 kW
Motornenndrehzahl Vorpumpe 3600 min-1 3600 min-1
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster 3600 min-1 3600 min-1
Schalldruckpegel (ISO 2151) < 75 dB(A) < 75 dB(A)
Wasserverbrauch min, 10 l/min min, 11 l/min
Stickstoffverbrauch 0 – 200 l/min 0 – 200 l/min
Gewicht ca. 1440 kg 1800 kg
Abmessungen (L × W × H) 1550 x 723 x 1504 mm 1572 x 810 x 1860 mm
Gaseintritt/-austritt DN 250 / DN 63 DN 200 / DN 63

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