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COBRA DS 5161 / 9161 A

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Kurze Prozesszeiten:
    durch hohes Saugvermögen
  • Kompakte Konstruktion
     

Die COBRA DS 5161/9161 A sind trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA DS. Mit ihrem großen Saugvermögen, sogar bei hohem Wasserstoffdurchsatz, eignen sie sich für alle anspruchsvollen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiter-produktion. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie der COBRA DS ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.

Die trockene Verdichtung der COBRA DS, ihr eigens entwickeltes Schraubenprofil und der ungehinderte Gasauslass sorgen für eine hohe Dampf- und Partikelverträglichkeit. Die Schrauben sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Somit wird das Eindringen von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln verhindert und Korrosion vorgebeugt.

Standardmäßig haben die COBRA DS 5161/9161 A einen Vakuum-Booster integriert, der höhere Saugvermögen und Enddrücke garantiert. Vorpumpe und Vakuum-Booster sind zusammen auf einem kompakten Grundrahmen montiert.

Höchste Wirtschaftlichkeit bietet der hocheffiziente Motor der COBRA DS 5161/9161 A. Durch geringen Wartungsaufwand, niedrige Betriebskosten, hohe Verfügbarkeit und lange Lebensdauer sind die Gesamtkosten äußerst niedrig. Damit setzt die COBRA DS neue Maßstäbe in ihrer Leistungsklasse.

Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit diesen Schrauben-Vakuumpumpen ist dank ihres flexiblen, passgenauen „Fit-in-Place“- Designs einfach und schnell durchzuführen.

Anwendungen

  • High-density plasma CVD (HDP-CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD)
  • Metal-organic CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD)
  • Low-pressure CVD (LPCVD)
  • Atomic layer deposition (ALD)

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

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Technische Ausführung
COBRA DS 5161/9161 A sind Schrauben- Vakuumpumpen kombiniert mit einem Vakuum-Booster. Im Zylinder der Schrauben- Vakuumpumpe drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. COBRA DS Vakuumpumpen arbeiten mit einer effizienten indirekten Wasserkühlung, die für eine regelbare Wärmeverteilung im gesamten Pumpenkörper sorgt, um stets exakt auf Prozessveränderungen reagieren zu können. Das hochmoderne Schraubenprofil ermöglicht zudem ein äußerst hohes Saugvermögen beim Absaugen von Wasserstoff. Die COBRA DS 5161/9161 A nutzen einen leistungsstarken Vakuum-Booster zur Leistungsoptimierung.


COBRA DS 5161/9161 A
COBRA DS 5161/9161 A
Saugvermögen

Luft von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA DS 5161 A COBRA DS 9161 A
Nennsaugvermögen m³/h 4300 6160
Enddruck hPa (mbar) 0,001 (1·10-3) 0,001 (1·10-3)
Motornennleistung Vorpumpe kW 15 15
Motornennleistung Vakuum-Booster kW 15 20
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus kW 50 Hz 12,5 13
Motornenndrehzahl Vorpumpe min-1 3600 3600
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster min-1 3600 3600
Schalldruckpegel (ISO 2151) dB(A) < 75 < 75
Wasserverbrauch l / min min, 10 min, 11
Stickstoffverbrauch l / min 0 – 200 0 – 200
Gewicht ca. kg 1440 1800
Abmessungen (L x W x H) mm 1550 x 723 x 1504 1572 x 810 x 1860
Gaseintritt / -austritt DN 250 / DN 63 DN 200 / DN 63

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