- Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
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Effizient:
niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit -
Flexibel:
anwendungsorientiert -
Kurze Prozesszeiten:
durch hohes Saugvermögen -
Kompakte Konstruktion
Die COBRA DS 5161/9161 A sind trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA DS. Mit ihrem großen Saugvermögen, sogar bei hohem Wasserstoffdurchsatz, eignen sie sich für alle anspruchsvollen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiter-produktion. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie der COBRA DS ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.
Die trockene Verdichtung der COBRA DS, ihr eigens entwickeltes Schraubenprofil und der ungehinderte Gasauslass sorgen für eine hohe Dampf- und Partikelverträglichkeit. Die Schrauben sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Somit wird das Eindringen von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln verhindert und Korrosion vorgebeugt.
Standardmäßig haben die COBRA DS 5161/9161 A einen Vakuum-Booster integriert, der höhere Saugvermögen und Enddrücke garantiert. Vorpumpe und Vakuum-Booster sind zusammen auf einem kompakten Grundrahmen montiert.
Höchste Wirtschaftlichkeit bietet der hocheffiziente Motor der COBRA DS 5161/9161 A. Durch geringen Wartungsaufwand, niedrige Betriebskosten, hohe Verfügbarkeit und lange Lebensdauer sind die Gesamtkosten äußerst niedrig. Damit setzt die COBRA DS neue Maßstäbe in ihrer Leistungsklasse.
Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit diesen Schrauben-Vakuumpumpen ist dank ihres flexiblen, passgenauen „Fit-in-Place“- Designs einfach und schnell durchzuführen.
Anwendungen
- High-density plasma CVD (HDP-CVD)
- Rapid thermal processing (RTP)
- Sub-atmospheric CVD (SACVD)
- Metal-organic CVD (MOCVD)
- Plasma-enhanced CVD (PECVD)
- Low-pressure CVD (LPCVD)
- Atomic layer deposition (ALD)
