Schrauben-Vakuumpumpe zur Arc-PVD-Beschichtung
Erprobte Technik, erprobtes Design -
entscheiden Sie sich für die beste Lösung
COBRA DS 3181 A
Trockene Schrauben-Vakuumpumpen

High performance
Advanced screw design, excellent running qualities, integrated vacuum booster, perfectly suited for chemical vapor deposition, rapid thermal processing or atomic layer deposition
Efficient
Low cost of ownership, minimal maintenance, long service intervals, high uptime, efficient indirect water cooling
Compact
Fit-in-place design, directly mounted canned motor, backing pump and vacuum booster combined on a compact base frame
Technische Ausführung
Technische Daten | COBRA DS 3181 A |
---|---|
Nennsaugvermögen | 3500 m³/h |
Enddruck | 0,001 hPa (mbar) |
Motornennleistung Vorpumpe | 18,5 kW |
Motornennleistung Vakuum-Booster | 15 kW |
Motornenndrehzahl Vorpumpe | 4320 min-1 |
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster | 5400 min-1 |
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus | 12,4 kW |
Schalldruckpegel (ISO 2151) | <75 dB(A) |
Wasserverbrauch | min, 10 l/min |
Stickstoffverbrauch | 0 - 200 l/min |
Gewicht ca. | 1390 kg |
Abmessungen (L × W × H) | 1654 x 722 x 1525 mm |
Gaseintritt/-austritt | DN 160 / DN 63 |
COBRA DS 3181 A
Trockene Schrauben-Vakuumpumpen

High performance
Advanced screw design, excellent running qualities, integrated vacuum booster, perfectly suited for chemical vapor deposition, rapid thermal processing or atomic layer deposition
Efficient
Low cost of ownership, minimal maintenance, long service intervals, high uptime, efficient indirect water cooling
Compact
Fit-in-place design, directly mounted canned motor, backing pump and vacuum booster combined on a compact base frame
Technische Ausführung
Technische Daten | COBRA DS 3181 A |
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Nennsaugvermögen | 3500 m³/h |
Enddruck | 0,001 hPa (mbar) |
Motornennleistung Vorpumpe | 18,5 kW |
Motornennleistung Vakuum-Booster | 15 kW |
Motornenndrehzahl Vorpumpe | 4320 min-1 |
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster | 5400 min-1 |
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus | 12,4 kW |
Schalldruckpegel (ISO 2151) | <75 dB(A) |
Wasserverbrauch | min, 10 l/min |
Stickstoffverbrauch | 0 - 200 l/min |
Gewicht ca. | 1390 kg |
Abmessungen (L × W × H) | 1654 x 722 x 1525 mm |
Gaseintritt/-austritt | DN 160 / DN 63 |
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