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COBRA DS 0600 E

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Kurze Prozesszeiten:
    durch hohes Saugvermögen
  • Kompakte Konstruktion
     

Die COBRA DS 0600 E ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe der bewährten Baureihe COBRA DS. Mit ihrem großen Saugvermögen, sogar bei hohem Wasserstoffdurchsatz, eignet sie sich für alle anspruchsvollen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiter- produktion. Die hochmoderne Schrauben- Vakuumtechnologie der COBRA DS ermöglicht auch das Absaugen von pulverund partikelhaltigen Medien.

Die trockene Verdichtung der COBRA DS, ihr eigens entwickeltes Schraubenprofil und der ungehinderte Gasauslass sorgen für eine hohe Dampf- und Partikelverträglichkeit. Die Schrauben sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Somit wird das Eindringen von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln verhindert und Korrosion vorgebeugt.

Höchste Wirtschaftlichkeit bietet der hocheffiziente Motor der COBRA DS 0600 E. Durch geringen Wartungsaufwand, niedrige Betriebskosten, hohe Verfügbarkeit und lange Lebensdauer sind die Gesamtkosten äußerst niedrig. Damit setzt die COBRA DS neue Maßstäbe in ihrer Leistungsklasse.

Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit diesen Schrauben-Vakuumpumpen ist dank ihres flexiblen, passgenauen „Fit-in-Place“- Designs einfach und schnell durchzuführen.

Anwendungen

  • High-density plasma CVD (HDP-CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD)
  • Metal-organic CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD)
  • Low-pressure CVD (LPCVD)
  • Atomic layer deposition (ALD)
  • High-capacity load lock

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

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Technische Ausführung
Im Zylinder der COBRA DS drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. COBRA DS Vakuumpumpen arbeiten mit einer effizienten indirekten Wasserkühlung, die für eine regelbare Wärmeverteilung im gesamten Pumpenkörper sorgt, um stets exakt auf Prozessveränderungen reagieren zu können. Das hochmoderne Schraubenprofil ermöglicht zudem ein äußerst hohes Saugvermögen beim Absaugen von Wasserstoff. Für härteste Bedingungen ist eine Tantal-Beschichtung verfügbar.


COBRA DS 0600 E
COBRA DS 0600 E
Saugvermögen

Saugvermögen

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA DS 0600 E
Nennsaugvermögen m³/h 600
Enddruck hPa (mbar) 0,01 (1·10-2)
Motornennleistung kW 15
Leistungsaufnahme bei Enddruck kW 9
Motornenndrehzahl min-1 3600
Schalldruckpegel (ISO 2151) min-1 < 70
Wasserverbrauch l / min min, 6
Stickstoffverbrauch l / min 0 - 200
Gewicht ca. kg 745
Abmessungen (L x W x H) mm 1654 x 600 x 747
Gaseintritt / -austritt DN 100 / DN 63

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