Erprobte Technik, erprobtes Design -
entscheiden Sie sich für die beste Lösung

COBRA DS 0080 / 0160 G

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Kurze Prozesszeiten:
    durch hohes Saugvermögen
  • Robust:
    Korrosionsschutzbeschichtung der inneren Bauteile
  • Kompakte Konstruktion


COBRA DS 0080/0160 G sind trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA DS. Mit ihren großen Saugvermögen, sogar bei hohem Wasserstoffdurchsatz, eignen sie sich für alle anspruchsvollen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie der COBRA DS ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.

Die trockene Verdichtung der COBRA DS, ihr eigens entwickeltes Schraubenprofil und der ungehinderte Gasauslass sorgen für eine hohe Dampf- und Partikelverträglichkeit. Die Schrauben sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Somit wird das Eindringen von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln verhindert und Korrosion vorgebeugt.

Höchste Wirtschaftlichkeit bieten die hocheffizienten Motoren der COBRA DS 0080/0160 G. Durch geringen Wartungsaufwand, niedrige Betriebskosten, hohe Verfügbarkeit und lange Lebensdauer sind die Gesamtkosten äußerst niedrig. Damit setzt die COBRA DS neue Maßstäbe in ihrer Leistungsklasse.

Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit diesen Schrauben-Vakuumpumpen ist dank ihres flexiblen, passgenauen „Fit-in-Place“- Designs einfach und schnell durchzuführen.

Anwendungen

  • High-density plasma CVD (HDP-CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD)
  • Metal-organic CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD)
  • Low-pressure CVD (LPCVD)
  • Atomic layer deposition (ALD)

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

Möchten Sie mehr erfahren?
Nehmen Sie direkt mit uns Kontakt auf (Busch Österreich):
+43 (0)2262 75665-0 Kontaktformular

Technische Ausführung
Im Zylinder der COBRA DS drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. COBRA DS Vakuumpumpen arbeiten mit einer effizienten indirekten Wasserkühlung, die für eine regelbare Wärmeverteilung im gesamten Pumpenkörper sorgt, um stets exakt auf Prozessveränderungen reagieren zu können. Das hochmoderne Schraubenprofil ermöglicht zudem ein äußerst hohes Saugvermögen beim Absaugen von Wasserstoff.


COBRA DS 0080/0160 G
COBRA DS 0080/0160 G
Saugvermögen

Luft von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA DS 0080 G COBRA DS 0160 G
Nennsaugvermögen m³/h 50 Hz 70 140
Enddruck hPa (mbar) 50 Hz 0,03 (3·10-2) 0,03 (3·10-2)
Motornennleistung kW 50 Hz 4,0 5,5
Leistungsaufnahme bei Enddruck kW 50 Hz 2,6 4,3
Motornenndrehzahl min-1 50 Hz 3000 3000
Schalldruckpegel (ISO 2151) dB(A) 50 Hz <62 <68
Wasserverbrauch l / min 50 Hz 4,0 4,0
Stickstoffverbrauch l / min 50 Hz 0 – 75 0-75
Gewicht ca. kg 50 Hz 276 338
Abmessungen (L x W x H) mm 50 Hz 865 x 385 x 667 975 x 425 x 697
Gaseintritt / -austritt 50 Hz DN 40 / DN 40 DN 50 / DN 40

Downloads

COBRA DS 0080 / 0160 G

Standard News

Neueste Meldungen