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Effizient:
niedrige Betriebskosten, lange Laufzeit, energieeffizient -
Einfache Wartung:
lange Wartungsintervalle -
Zuverlässig:
betriebssicher -
Flexibel:
anwendungsorientiert -
Leise:
Schalldruckpegel < 62 dB(A)
Die COBRA BC 0600 F ist eine bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpe aus der COBRA BC-Serie. Sie bietet ein herausragendes Saugvermögen für anspruchsvollste Solar-, Flachbildschirmund Halbleiteranwendungen.
Dank ihrer einzigartigen Schraubenkonstruktion eignet sich die COBRA BC auch bestens für das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien. Die bewährte Konstruktion vereinigt die Kombination Vorpumpe/WalzkölbenVakuumpumpe in einem gemeinsamen, kompakten Rahmen.
Die Vakuumpumpen der COBRA-Serie sind äußerst wirtschaftlich. Hochleistungsmotoren und ein Energiesparmodus erhöhen ihre Energieeffizienz. Zusätzliche Einsparungen bringen die besonders hohe Verfügbarkeit und der geringe Platzbedarf, der in vielen Fällen die Nachrüstung vereinfacht.
Anwendungen
- Load lock (conditional)
- Transfer
- Metrology
- Lithography
- Physical Vapor Deposition (PVD)
- Rapid Thermal Annealing (RTA)
- Strip/Ashing
- Oxide Etch
- Silicon Etch
- Metal Etch
