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COBRA BC 0600 F

  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, lange Laufzeit, energieeffizient
  • Einfache Wartung:
    lange Wartungsintervalle
  • Zuverlässig:
    betriebssicher  
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Leise:
    Schalldruckpegel < 62 dB(A)
     

Die COBRA BC 0600 F ist eine bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpe aus der COBRA BC-Serie. Sie bietet ein herausragendes Saugvermögen für anspruchsvollste Solar-, Flachbildschirmund Halbleiteranwendungen.

Dank ihrer einzigartigen Schraubenkonstruktion eignet sich die COBRA BC auch bestens für das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien. Die bewährte Konstruktion vereinigt die Kombination Vorpumpe/WalzkölbenVakuumpumpe in einem gemeinsamen, kompakten Rahmen.

Die Vakuumpumpen der COBRA-Serie sind äußerst wirtschaftlich. Hochleistungsmotoren und ein Energiesparmodus erhöhen ihre Energieeffizienz. Zusätzliche Einsparungen bringen die besonders hohe Verfügbarkeit und der geringe Platzbedarf, der in vielen Fällen die Nachrüstung vereinfacht.

Anwendungen

  • Load lock (conditional)
  • Transfer
  • Metrology
  • Lithography
  • Physical Vapor Deposition (PVD)
  • Rapid Thermal Annealing (RTA)
  • Strip/Ashing
  • Oxide Etch
  • Silicon Etch
  • Metal Etch

COBRA – die höchste Stufe von kompakten Vakuumpumpen für leichte bis anspruchsvolle Aufgaben.

COBRA – die höchste Stufe von kompakten Vakuumpumpen für leichte bis anspruchsvolle Aufgaben.

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Technische Ausführung

Technische Ausführung
Die COBRA BC 0600 F ist eine einstufige, zweiwellige Schrauben-Vakuumpumpe. Im Zylinder rotieren zwei Schraubenrotoren. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren beim Verdichtungsprozess weder sich gegenseitig noch den Zylinder. Dadurch sind keine Schmierung und somit keinerlei Betriebsmittel im Verdichtungsraum notwendig.

Die neueste Entwicklung der Schraubenkonstruktion mit fliegender Lagerung senkt den Energieverbrauch drastisch und verhindert hohe Gastemperaturen bei der Verdichtung. Die COBRA BC verfügt serienmäßig über eine Wasser-kühlung, die eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Vakuumpumpe ermöglicht.

Durch die einzigartige fliegende Lagerung der Schraubenrotoren sind keine Lager im Verdichtungsraum notwendig und die COBRA BC ist dadurch äußerst kompakt.

COBRA BC Schrauben-Vakuumpumpen sind auch mit einer Spezialbeschichtung für das Handling von korrosiven Gasen und Dämpfen erhältlich.

Maßzeichnung
Saugvermögen

Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA BC 0600 F
Nennsaugvermögen 520 m³/h
Enddruck 0,003 hPa (mbar)
Motornennleistung Vorpumpe 1,5 kW
Motornennleistung Vakuum-Booster 4,0 kW
Motornenndrehzahl Vorpumpe 3000 min-1
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster 3000 min-1
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus 2,1 / 1,1 kW
Schalldruckpegel (ISO 2151) 62 dB(A)
Wasserverbrauch 3,0 l/min
Stickstoffverbrauch 0-50 l/min
Gewicht ca. 315 kg
Abmessungen (L × W × H) 933 x 354 x 694 mm
Gaseintritt/-austritt DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

Technische Ausführung

Technische Ausführung
Die COBRA BC 0600 F ist eine einstufige, zweiwellige Schrauben-Vakuumpumpe. Im Zylinder rotieren zwei Schraubenrotoren. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren beim Verdichtungsprozess weder sich gegenseitig noch den Zylinder. Dadurch sind keine Schmierung und somit keinerlei Betriebsmittel im Verdichtungsraum notwendig.

Die neueste Entwicklung der Schraubenkonstruktion mit fliegender Lagerung senkt den Energieverbrauch drastisch und verhindert hohe Gastemperaturen bei der Verdichtung. Die COBRA BC verfügt serienmäßig über eine Wasser-kühlung, die eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Vakuumpumpe ermöglicht.

Durch die einzigartige fliegende Lagerung der Schraubenrotoren sind keine Lager im Verdichtungsraum notwendig und die COBRA BC ist dadurch äußerst kompakt.

COBRA BC Schrauben-Vakuumpumpen sind auch mit einer Spezialbeschichtung für das Handling von korrosiven Gasen und Dämpfen erhältlich.

Maßzeichnung
Saugvermögen

Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Saugvermögen
Technische Daten COBRA BC 0600 F
Nennsaugvermögen 520 m³/h
Enddruck 0,003 hPa (mbar)
Motornennleistung Vorpumpe 1,5 kW
Motornennleistung Vakuum-Booster 4,0 kW
Motornenndrehzahl Vorpumpe 3000 min-1
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster 3000 min-1
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus 2,1 / 1,1 kW
Schalldruckpegel (ISO 2151) 62 dB(A)
Wasserverbrauch 3,0 l/min
Stickstoffverbrauch 0-50 l/min
Gewicht ca. 315 kg
Abmessungen (L × W × H) 933 x 354 x 694 mm
Gaseintritt/-austritt DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

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