Erprobte Technik, erprobtes Design -
entscheiden Sie sich für die beste Lösung

COBRA BC 0600 F

  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, lange Laufzeit, energieeffizient
  • Einfache Wartung:
    lange Wartungsintervalle
  • Zuverlässig:
    betriebssicher  
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Leise:
    Schalldruckpegel < 62 dB(A)
     

Die COBRA BC 0600 F ist eine bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpe aus der COBRA BC-Serie. Sie bietet ein herausragendes Saugvermögen für anspruchsvollste Solar-, Flachbildschirmund Halbleiteranwendungen.

Dank ihrer einzigartigen Schraubenkonstruktion eignet sich die COBRA BC auch bestens für das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien. Die bewährte Konstruktion vereinigt die Kombination Vorpumpe/WalzkölbenVakuumpumpe in einem gemeinsamen, kompakten Rahmen.

Die Vakuumpumpen der COBRA-Serie sind äußerst wirtschaftlich. Hochleistungsmotoren und ein Energiesparmodus erhöhen ihre Energieeffizienz. Zusätzliche Einsparungen bringen die besonders hohe Verfügbarkeit und der geringe Platzbedarf, der in vielen Fällen die Nachrüstung vereinfacht.

Anwendungen

  • Load lock (conditional)
  • Transfer
  • Metrology
  • Lithography
  • Physical Vapor Deposition (PVD)
  • Rapid Thermal Annealing (RTA)
  • Strip/Ashing
  • Oxide Etch
  • Silicon Etch
  • Metal Etch

COBRA – die höchste Stufe von kompakten Vakuumpumpen für leichte bis anspruchsvolle Aufgaben.

Möchten Sie mehr erfahren?
Nehmen Sie direkt mit uns Kontakt auf (Busch Österreich):
+43 (0)2262 75665-0 Kontaktformular

Technische Ausführung
Die COBRA BC 0600 F ist eine einstufige, zweiwellige Schrauben-Vakuumpumpe. Im Zylinder rotieren zwei Schraubenrotoren. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren beim Verdichtungsprozess weder sich gegenseitig noch den Zylinder. Dadurch sind keine Schmierung und somit keinerlei Betriebsmittel im Verdichtungsraum notwendig.

Die neueste Entwicklung der Schraubenkonstruktion mit fliegender Lagerung senkt den Energieverbrauch drastisch und verhindert hohe Gastemperaturen bei der Verdichtung. Die COBRA BC verfügt serienmäßig über eine Wasser-kühlung, die eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Vakuumpumpe ermöglicht.

Durch die einzigartige fliegende Lagerung der Schraubenrotoren sind keine Lager im Verdichtungsraum notwendig und die COBRA BC ist dadurch äußerst kompakt.

COBRA BC Schrauben-Vakuumpumpen sind auch mit einer Spezialbeschichtung für das Handling von korrosiven Gasen und Dämpfen erhältlich.


Saugvermögen

Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen <p> Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%</p>
Technische Daten COBRA BC 0600 F
Nennsaugvermögen m³/h 50 Hz 520
Motornennleistung Walzkölben-Vakuumpumpe kW 50 Hz 4,0
Motornenndrehzahl Vorpumpe min-1 50 Hz 3000
Motornenndrehzahl Walzkölben-Vakuumpumpe min-1 50 Hz 3000
Enddruck hPa (mbar) 0,003
Motornennleistung Vorpumpe kW 50 Hz 1,5
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus kW 50 Hz 2,1 / 1,1
Schalldruckpegel (ISO 2151) dB(A) 50 Hz 62
Wasserverbrauch l / min 3,0
Stickstoffverbrauch l / min 0-50
Gewicht ca. kg 315
Abmessungen (L x W x H) mm 933 x 354 x 694
Gaseintritt / -austritt DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

Downloads

COBRA BC 0600 F

Standard News

Neueste Meldungen