• Effizient:
  niedrige Betriebskosten, lange Laufzeit, energieeffizient
• Einfache Wartung:
  lange Wartungsintervalle
• Zuverlässig:
  betriebssicher  
• Flexibel:
  anwendungsorientiert
• Leise:
  Schalldruckpegel < 62 dB(A)
   

Die COBRA BC 0600 F ist eine bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpe aus der COBRA BC-Serie. Sie bietet ein herausragendes Saugvermögen für anspruchsvollste Solar-, Flachbildschirmund Halbleiteranwendungen.

Dank ihrer einzigartigen Schraubenkonstruktion eignet sich die COBRA BC auch bestens für das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien. Die bewährte Konstruktion vereinigt die Kombination Vorpumpe/WalzkölbenVakuumpumpe in einem gemeinsamen, kompakten Rahmen.

Die Vakuumpumpen der COBRA-Serie sind äußerst wirtschaftlich. Hochleistungsmotoren und ein Energiesparmodus erhöhen ihre Energieeffizienz. Zusätzliche Einsparungen bringen die besonders hohe Verfügbarkeit und der geringe Platzbedarf, der in vielen Fällen die Nachrüstung vereinfacht.

Anwendungen

• Load lock (conditional)
• Transfer
• Metrology
• Lithography
• Physical Vapor Deposition (PVD)
• Rapid Thermal Annealing (RTA)
• Strip/Ashing
• Oxide Etch
• Silicon Etch
• Metal Etch