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COBRA BC 0101 G

Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die ideale Lösung für leichte bis mittlere Halbleiter-Anwendungen

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben, hervorragende Laufeigenschaften, optimal geeignet für Aufgaben in Load-Lock- und Transferkammern, für Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung und Rapid Thermal Annealing

Effizient

Intelligenter Antrieb mit Drehzahlregelung, niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit, direkte Wasserkühlung

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, integriertes Bedienpanel

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Handling von Biogas
  • Aufbereitung - Druckwechseladsorption
Halbleiterproduktion
  • Leicht