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COBRA BA 0100 C

  • Hochmoderne Schrauben- Vakuumtechnologie:
    glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben
  • Effizient:
    luftgekühlt, niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
  • Zuverlässig:
    betriebssicher
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Leise:
    niedriger Schalldruckpegel, vibrationsarm
  • Kompakte Konstruktion


Die COBRA BA 0100 C ist die bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpe zur Evakuierung von Load-Lock-Kammern und anderen anspruchsvollen Prozessen im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion. Mit ihrer effizienten Luftkühlung und dem höchsten Saugvermögen ihrer Leistungsklasse eignet sie sich für alle Anwendungen, bei denen effektiv, schnell und sicher Vakuum erzeugt werden muss. Die öl- und berührungsfrei verdichtende Schrauben-Vakuumpumpe ermöglicht auch das Absaugen von partikelhaltigen Medien.

Durch die fortschrittliche, freitragende, glockenförmige Konstruktion ist der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben lediglich motorseitig befestigt. Die besondere „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und die geförderten Gase können vollständig rückgewonnen werden. Durch den direkten Gasweg zwischen Einund Auslass entstehen keine Toträume, und der Verdichtungsraum bleibt frei von Prozessablagerungen.

Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben und dem präzise im Schwerpunkt montierten Schraubenrotor gewährleistet hervorragende Laufeigenschaften und hohe Verfügbarkeit. Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BA sehr kompakte Abmessungen auf und benötigen keine dynamischen Dichtungen.

Anwendungen

  • Load Locks für die Halbleiterproduktion
  • Analysegeräte
  • Dünnfilmbeschichtung
  • F & E-Anwendungen
  • Sterilisierung
  • Vakuumöfen
  • Gefriertrocknung
  • Dampfrückgewinnung

COBRA – das nächste Level leistungsstarker Vakuumpumpen für härteste Bedingungen.

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Technische Ausführung
Im Zylinder der COBRA BA 0100 C drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie führt, im Vergleich zu herkömmlichen Schrauben, zu einem deutlich geringeren Energieverbrauch und einer niedrigeren Temperatur des zu verdichtenden Gases. Ein Sperr- und Verdünnungsgassystem (Option) ermöglicht das Abpumpen von Dämpfen und kondensierbaren Gasen.


COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Saugvermögen

Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen <p> Luft von 20°C. Toleranz: ± 10%</p>
Technische Daten COBRA BA 0100 C
Nennsaugvermögen m³/h 50 Hz 85
Enddruck hPa (mbar) 0,01
Motornennleistung kW 50 Hz 1,5
Leistungsaufnahme bei Enddruck kW 50 Hz 1,1
Motornenndrehzahl min-1 50 Hz 3000
Schalldruckpegel (ISO 2151) dB(A) 58
Stickstoffverbrauch l / min 50 Hz 0-50
Gewicht ca. kg 120
Abmessungen (L x W x H) mm 634 x 304 x 338
Gaseintritt / -austritt DN 50 KF / DN 40 KF

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