• Hochmoderne Schrauben- Vakuumtechnologie:
  glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben
• Effizient:
  luftgekühlt, niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
• Zuverlässig:
  betriebssicher
• Flexibel:
  anwendungsorientiert
• Leise:
  niedriger Schalldruckpegel, vibrationsarm
• Kompakte Konstruktion

Die COBRA BA 0100 C ist die bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpe zur Evakuierung von Load-Lock-Kammern und anderen anspruchsvollen Prozessen im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion. Mit ihrer effizienten Luftkühlung und dem höchsten Saugvermögen ihrer Leistungsklasse eignet sie sich für alle Anwendungen, bei denen effektiv, schnell und sicher Vakuum erzeugt werden muss. Die öl- und berührungsfrei verdichtende Schrauben-Vakuumpumpe ermöglicht auch das Absaugen von partikelhaltigen Medien.

Durch die fortschrittliche, freitragende, glockenförmige Konstruktion ist der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben lediglich motorseitig befestigt. Die besondere „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und die geförderten Gase können vollständig rückgewonnen werden. Durch den direkten Gasweg zwischen Einund Auslass entstehen keine Toträume, und der Verdichtungsraum bleibt frei von Prozessablagerungen.

Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben und dem präzise im Schwerpunkt montierten Schraubenrotor gewährleistet hervorragende Laufeigenschaften und hohe Verfügbarkeit. Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BA sehr kompakte Abmessungen auf und benötigen keine dynamischen Dichtungen.

Anwendungen

• Load Locks für die Halbleiterproduktion
• Analysegeräte
• Dünnfilmbeschichtung
• F & E-Anwendungen
• Sterilisierung
• Vakuumöfen
• Gefriertrocknung
• Dampfrückgewinnung