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COBRA DS 8162/8163 B/F

Schraube

Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Hochleistungs-Load-Lock-Anwendungen und Beschichtungsprozesse

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente Wasserkühlung, hoher Lösungsmitteldurchsatz

Kompakt

Kompakte Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen, modulare Bauweise

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Flachbildschirmproduktion
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Organische Leuchtdiode (OLED)
  • Load-Lock-Kammern
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
Metallurgie
  • Beschichten