Seit 13 Jahren in Betrieb - COBRA BC erreicht Meilenstein in Fab 1 von GlobalFoundries

Dreizehn Jahre durchgehender Betrieb. Das entspricht mehr als 21.1 Milliarden Umdrehungen bei 50 Hz. Mitte Januar 2017 erreichte eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe der Baureihe COBRA BC diesen bemerkenswerten Meilenstein in einem Halbleiterwerk in Deutschland und wurde somit dem Ruf der als robust, zuverlässig und wartungsarm bekannten Vakuumerzeuger voll und ganz gerecht.
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Die COBRA BC Vakuumpumpe ist in der GlobalFoundries-Produktionsstätte (auch Fab 1 genannt) in Dresden seit 2005 durchgängig in Betrieb und die am längsten betriebene COBRA BC am Standort. Fab 1 in Dresden war seinerzeit das erste Werk, das Mikrochips mit Kupferverdrahtung in industriellen Mengen fertigte. Inzwischen hat sich diese Technologie als weltweiter Standard in der Halbleiterfertigung durchgesetzt.

Im Werk in Dresden, in dem 300 mm-Wafer für die Halbleiterindustrie hergestellt werden, sind insgesamt 194 trockene Schrauben-Vakuumpumpen COBRA BC 0100 installiert. Davon sind 47 seit über 10 Jahren im Dauerbetrieb, und 22 haben den Meilenstein „100.000 Betriebsstunden" erreicht (über 11 Jahre in Betrieb).

COBRA BC Vakuumpumpen werden hauptsächlich für Load-Lock-Anwendungen bei Epitaxieverfahren und physikalischen Gasphasenabscheidungsverfahren (PVD) sowie im Rahmen anderer kontaminationsfreier Verfahren für Waferverarbeitung und -metriken eingesetzt, um eine hohe Qualität bei der Lithografie zu gewährleisten.

Die COBRA BC 0100 F ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe der Baureihe COBRA BC, die eine kompakte und moderne Lösung für Load-Lock- und alle anspruchsvollen Solar-, Flachbildschirm- und Halbleiteranwendungen darstellt. Aufgrund ihrer besonderen Schrauben-Vakuumtechnologie weist sie eine hervorragende Partikelverträglichkeit auf.

Die Baureihe COBRA BC wird auch in der Ausführung Premium Efficiency angeboten. Diese Vakuumerzeuger zeichnen sich durch eine verbesserte Energiebilanz aus, wodurch Stromeinsparungen von bis zu 40 % möglich sind. Die Premium Efficiency-Klasse basiert dabei auf der bewährten Technologieplattform der COBRA BC.

Busch Vakuumpumpen und Systeme beschäftigt in Dresden ein Serviceteam aus neun Servicetechnikern und einem Teamleiter, das rund um die Uhr im Schichtbetrieb arbeitet und so die äußerst hohe Systemverfügbarkeit der hunderten installierten Vakuumpumpen von Busch gewährleistet. Außerdem ist das Serviceteam für die Instandhaltung der Abgasentsorgungsanlagen zuständig.

GlobalFoundries ist einer der weltweit bedeutendsten Halbleiterhersteller und fertigt im Werk in Dresden Knoten von 40 nm bis (demnächst) 22 nm. Das Werk in Dresden ist europaweit das größte Werk für die Herstellung von Mikrochips. 


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