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COBRA DS 2610–3161 A/E

Tornillo

La nueva generación de bombas de vacío secas para procesos exigentes

Alto rendimiento

Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para la deposición química de vapor, los tratamientos térmicos rápidos o la deposición de capas atómicas

Eficientes

Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad. eficaz refrigeración por agua indirecta, gran capacidad de hidrógeno

Compactas

Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados sobre una bancada compacta

Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Producción de pantallas planas
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
  • Diodo orgánico de emisión de luz (OLED)
  • Cámaras Load Lock
  • Deposición física de vapor (PVD)
Metalurgia
  • Recubrimiento
Producción de semiconductores
  • Duro
Industria de la energía solar
  • Cámaras Load Lock
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)