Recubrimiento de plasma

El estado plasmático de una mezcla de partículas se suele describir como el cuarto estado de la materia. En condiciones normales de presión, únicamente se puede originar un plasma si un gas se calienta a una temperatura suficientemente alta para transformar sus moléculas en iones y electrones. Sin embargo, a presiones muy bajas, se puede generar plasma sin necesidad de altas temperaturas.

La tecnología de recubrimiento emplea el plasma para depositar capas finas de material activo para, por ejemplo, crear un espejo o aplicar a unos componentes un recubrimiento antiadherente.

Los materiales relativamente delicados, como el plástico, el caucho o las fibras naturales, no son aptos para procesos a altas temperaturas. Para poder aplicar un recubrimiento a esos materiales, se utiliza un plasma de baja presión, que trabaja a temperaturas de entre 40 °C y 120 °C. Los objetos se lavan meticulosamente y se colocan en una cámara que a continuación se evacua. El sistema de vacío que se encargue de generar el medio y los altos niveles de vacío necesarios debe ser totalmente fiable y sus características deben adaptarse al proceso de recubrimiento.


Un gas de proceso —por ejemplo, el argón— se añade posteriormente a la cámara. Al gas se le aplica energía eléctrica, de microondas o de alta frecuencia y esto produce una llama de plasma. Esta llama separa el material de recubrimiento en partículas diminutas, que a continuación se aceleran. Las partículas impactan sobre los objetos de la cámara con gran energía, formándose así una capa homogénea. Los productos volátiles derivados del plasma se eliminan con una bomba de vacío y, si es necesario, también se neutralizan con un lavador de gases.


Se puede emplear una gran variedad de productos de Busch para generar el medio y los altos niveles de vacío necesarios para llevar a cabo el recubrimiento de plasma. Diversas variantes de la gama COBRA de bombas de vacío de tornillo han demostrado ser especialmente aptas para esta tarea, también en combinación con una bomba de vacío roots Panda. Para las plantas de recubrimiento de plasma de menores dimensiones con sistemas de precámara, se pueden usar bombas de vacío de espiral Fossa y combinarse con bombas de vacío de paletas rotativas Zebra o bombas de vacío turbomoleculares Turbo en la cámara de proceso.

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